特許
J-GLOBAL ID：200903032146871741

静電チャック

発明者：
井之上 博範

井之上 博範 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-009442
公開番号（公開出願番号）：特開2005-203624
出願日： 2004年01月16日
公開日（公表日）： 2005年07月28日
要約：
【課題】絶縁性の液晶基板からなるウェハWを平坦に精度良く吸着できないという課題があった。【解決手段】板状セラミックス体の上に電極を備え、該電極を覆うようにポリイミドを主成分とする絶縁層を備え、該絶縁層の上面にウェハを載せる載置面とした静電チャックであって、前記板状セラミックス体のヤング率を350GPa以上とする。 【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
板状セラミックス体の上に絶縁層を備え、該絶縁層の上面に電極を備え、該電極を覆うようにポリイミドからなる絶縁層を備えた静電チャックであって、前記板状セラミックス体のヤング率が350GPa以上であることを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
H01L21/68 ,  H02N13/00
FI (2件)：
H01L21/68 R ,  H02N13/00 D
Fターム (10件)：
2H088FA10 ,  2H088FA25 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088KA30 ,  2H088MA17 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA10 ,  5F031HA16
引用特許：
出願人引用 (3件)
  • 特許2130375公報
  • 静電チャック
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-098755   出願人：信越化学工業株式会社
  • 特開平4-237148号公報
審査官引用 (4件)
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