特許
J-GLOBAL ID:200903032183007526
微細構造を有する基板、製造方法、及びそれを用いた金型、金型製造方法、及び光学素子
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
西山 恵三
, 内尾 裕一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-028505
公開番号(公開出願番号):特開2007-206622
出願日: 2006年02月06日
公開日(公表日): 2007年08月16日
要約:
【課題】 光の入出射面での界面反射光量を抑制する機能を有する光学素子及びその製造方法及びそれを用いた光学機器を提供することである。特に、成形時に転写性の良い微細形状を形成することによって基板表面に反射防止構造を有する光学素子の製造方法を提供することを目的とする【解決手段】 基板の面上に複数の突起を設けたことを特徴とする基板であって、前記複数の突起は前記基板の面上に、該面の法線方向に独立して形成されており、面上に配列された突起の形状が、隣接する六方の平均中心間距離をpとする配列した点を重心位置とした平均フェレ径をaとする形状を面から該面の法線の基板方向に除去した後に残った形状であり、前記平均フェレ径aが、 p<a< pであることを特徴とする。【選択図】 図7
請求項(抜粋):
基板の面上に複数の突起を設けたことを特徴とする基板であって、前記複数の突起は前記基板の面上に、該面の法線方向に独立して形成されており、面上に配列された突起の形状が、隣接する六方の平均中心間距離をpとする配列した点を重心位置とした平均フェレ径をaとする形状を面から該面の法線の基板方向に除去した後に残った形状であり、前記平均フェレ径aが、
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (12件):
2H091FA37X
, 2H091FB02
, 2H091FC17
, 2H091LA03
, 2H091LA12
, 2H091LA13
, 2H091LA16
, 2K009AA12
, 2K009CC14
, 2K009DD04
, 2K009DD12
, 2K009DD15
引用特許:
出願人引用 (6件)
-
表面処理方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-088524
出願人:科学技術振興事業団, 高原浩滋
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微細格子およびその製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-245843
出願人:エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社
-
反射防止物品の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-257630
出願人:帝人株式会社
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