感光性組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萩野平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-285272
公開番号（公開出願番号）：特開平10-133364
出願日： 1996年10月28日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】高感度で経時保存安定性の良好な感光性組成物を提供すること。【解決手段】トリアリールスルフォニウムハロゲニド塩とスルフォン酸アンモニウム塩との反応により得られる、活性光線または放射線の照射により酸を発生するトリアリールスルフォニウムスルフォン酸塩を含有する感光性組成物。

請求項（抜粋）：

トリアリールスルフォニウムハロゲニド塩とスルフォン酸アンモニウム塩との反応により得られる、活性光線または放射線の照射により酸を発生するトリアリールスルフォニウムスルフォン酸塩を含有することを特徴とする感光性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 503 , G03F 7/004 501 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/004 503 A , G03F 7/004 501 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (8件)

全件表示

前のページに戻る