静電容量型の検出装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：今井彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-206638
公開番号（公開出願番号）：特開2008-032550
出願日： 2006年07月28日
公開日（公表日）： 2008年02月14日
要約：

【課題】周辺の物質の誘電率の変化に対する感度の高い静電容量型のセンサーを提供する。【解決手段】第1の電極11と第2の電極12との間の静電容量Cmの変化に基づく検出信号を出力するためのセンサー10を提供する。センサー10は、第1の電極11および第2の電極12を内部に含み、モールド樹脂16により平板状に成形されたプレート部分18を備えている。電極11および12はプレート部分18の幅方向Wに並列に配置されている。さらに、第1の電極11および第2の電極12の間に第3の電極13が配置され、第3の電極13の幅We3は、第2の電極12の幅We2よりも小さく、第3の電極13と第2の電極12との間隔Wd2は、第3の電極13と第1の電極11との間隔Wd1よりも狭い。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

第1の電極と第2の電極との間の静電容量の変化に基づく検出信号を出力するための装置であって、平坦な前記第1の電極および前記第2の電極を内部に含み、非導電性材により平板状に成形されたプレート部分であって、前記第1の電極および前記第2の電極の少なくとも一部が当該プレート部分の面に沿って並列に配置されているプレート部分と、前記プレート部分において並列に配置された前記第1の電極および前記第2の電極の間に配置された第3の電極とを有し、前記第3の電極の幅は、前記第2の電極の幅よりも小さく、前記第3の電極と前記第2の電極との間隔は、前記第3の電極と前記第1の電極との間隔よりも狭い、装置。

IPC (1件)：

G01N 27/22

FI (1件)：

G01N27/22 Z

Fターム (9件)：

2G060AA14 , 2G060AB02 , 2G060AC01 , 2G060AF10 , 2G060AG06 , 2G060AG10 , 2G060HA03 , 2G060HC07 , 2G060HC10

引用特許：

出願人引用 (10件)

エンドエフェクタ上の物品のセンサ
公報種別：公表公報出願番号：特願平6-525474 出願人：ブルックスオートメーション,インク.
水分検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-239097 出願人：ジェイ・エス・ケー株式会社, 有限会社イーグル電子
基板検出装置、ならびにそれを用いた基板処理装置および基板処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-241802 出願人：大日本スクリーン製造株式会社

全件表示

審査官引用 (7件)

特開昭55-036722
物理量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-020092 出願人：日本航空電子工業株式会社
水分量センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-401884 出願人：松下電工株式会社

全件表示

前のページに戻る