特許

J-GLOBAL ID：200903032439762580

ターボ分子ポンプおよびターボ分子ポンプの機種判別方法

発明者： 時政 泰憲
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 藤田 考晴 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-342537
公開番号（公開出願番号）：特開2003-148383
出願日： 2001年11月07日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：

【要約】【課題】 ポンプユニットA側においてもまた電源ユニットB側においても機種の互換性を制限する回路を設ける事なく、容易に機種間の互換性を達成出来、而も電源ユニットBの共用化を達成し得るターボ分子ポンプおよびターボ分子ポンプの機種判別方法を提供する事。【解決手段】 複数種のポンプユニットAを制御する複数種の制御パラメータを保存するテーブルメモリ(記憶手段)50と、位置センサ24の検知信号に基づいてポンプユニットAの機種を判別する機種判別回路(機種判別手段)48と、判別された機種に応じて制御パラメータを選択するテーブル選択回路(選択手段)49が設けられている。機種判別回路48は、前記位置センサ24のオフセット信号、ゲイン等に基づいて機種を判別することができる。

請求項（抜粋）：

電源ユニットとポンプユニットとを備え、ポンプユニットには、ロータ部とステータ部とが設けられているとともに、これらロータ部とステータ部の少なくともいずれか一方に電磁石からなる磁気軸受が配設され、該磁気軸受の磁力の作用により前記ロータ部を空中維持させながら、該ロータ部を高速回転させ、所定の負荷作用が行われる構成とされ、前記電源ユニットには、前記位置センサの検知信号に基づき前記磁気軸受の電磁石に印加する軸受駆動電力を制御する磁気軸受制御手段とが備えられたターボ分子ポンプにおいて、複数種の前記ポンプユニットを制御する複数種の制御パラメータを保存する記憶手段と、前記位置センサの検知信号に基づいて前記ポンプユニットの機種を判別する機種判別手段と、判別された機種に応じて前記制御パラメータを選択する選択手段が設けられていることを特徴とするターボ分子ポンプ。

IPC (4件)：

F04D 19/04 ,  F04D 27/00 ,  F04D 29/04 ,  F16C 32/04

FI (6件)：

F04D 19/04 H ,  F04D 19/04 A ,  F04D 27/00 C ,  F04D 27/00 D ,  F04D 29/04 R ,  F16C 32/04 A

Fターム (23件)：

3H021AA01 ,  3H021AA08 ,  3H021BA01 ,  3H021CA07 ,  3H021EA10 ,  3H021EA12 ,  3H022AA01 ,  3H022BA06 ,  3H022CA16 ,  3H022DA09 ,  3H031AA11 ,  3H031BA05 ,  3H031BA21 ,  3H031DA02 ,  3H031EA11 ,  3H031EA12 ,  3H031FA13 ,  3H031FA41 ,  3J102AA01 ,  3J102BA03 ,  3J102DA08 ,  3J102DA35 ,  3J102GA06