特許
J-GLOBAL ID：200903032868687066
物理量検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
足立 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-098846
公開番号（公開出願番号）：特開平8-292206
出願日： 1995年04月24日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：
【要約】【目的】 高集積化が可能で調整の簡単な物理量検出装置を提供する。【構成】 可動部を有し、該可動部の変位に応じた電圧信号Vinを出力すると共に、制御電圧V1,V2により可動部の位置制御が可能なセンサエレメント16と、電圧信号Vinを数値化しデジタルデータDaにして出力するA/D変換器20と、デジタルデータDaに基づき可動部の位置を制御するための制御量Doを設定し、該制御量Doに従って生成されるパルス幅変調信号PTにより、スイッチング回路18を介して制御電圧V1,V2を発生させ、センサエレメント16の可動部を位置制御する制御回路22と、を備える。センサエレメント16以外は全てデジタル回路にて構成されるため、高集積化が可能であり、また電圧信号Vinを数値化し、デジタル値の演算処理により制御量Doを求めているため、オフセットや感度の調整も演算処理により簡単にできる。
請求項（抜粋）：
通電により動作し、所定の物理量に応じた電気信号を出力するセンサエレメントと、該センサエレメントが出力する電気信号を数値化するA/D変換器と、該A/D変換器により数値化されたデジタルデータに基づき、上記電気信号が所定の出力となるように上記センサエレメントを制御するための制御量を算出し、該制御量に応じた制御信号を生成する制御手段と、該制御手段からの制御信号に応じて上記センサエレメントを通電する通電手段と、を備え、上記制御量あるいは上記制御信号を上記物理量を表す検出信号として出力することを特徴とする物理量検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/125
, G01D 5/24 D
