特許
J-GLOBAL ID:200903032910722357
半導体装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高野 則次
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-020218
公開番号(公開出願番号):特開2005-217049
出願日: 2004年01月28日
公開日(公表日): 2005年08月11日
要約:
【課題】GaN系半導体が使用されている半導体装置の高耐圧化が困難であった。【解決手段】 半導体装置はシリコン基板1とバッファ領域2と半導体素子を形成するための主半導体領域3とを有する。主半導体領域3の主面にソース電極4、ドレイン電極5及びゲート電極6が形成されている。シリコン基板1の裏面に裏面電極7が形成されている。シリコン基板1はp型半導体領域1Pとn型半導体領域1nとを有する。シリコン基板1のpn接合によってドレイン電極5と裏面電極7との間の耐圧が向上する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
シリコン又はシリコン化合物から成る基板と、
前記基板の一方の主面上に配置された少なくとも1つの窒化物半導体層を含んでいる主半導体領域と、
前記主半導体領域の表面上に配置された少なくとも第1及び第2の主電極と
を備えた半導体装置であって、
前記基板がpn接合を含むことを特徴とする半導体装置。
IPC (3件):
H01L21/338
, H01L29/778
, H01L29/812
FI (2件):
H01L29/80 H
, H01L29/80 B
Fターム (15件):
5F102FA01
, 5F102GB01
, 5F102GB02
, 5F102GC01
, 5F102GD01
, 5F102GJ03
, 5F102GK04
, 5F102GK08
, 5F102GL04
, 5F102GM04
, 5F102GQ01
, 5F102GR01
, 5F102GR07
, 5F102HC01
, 5F102HC21
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
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