空気清浄化方法とその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：岩橋文雄 , 坂口智康 , 内藤浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-056868
公開番号（公開出願番号）：特開2004-263985
出願日： 2003年03月04日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：

【課題】例えば半導体生産工場などのクリーンルームで、、空気中の特定物質(特定の微細な粒子。例えば、ホコリなどのパーティクル、ボロン化合物、酸性物質、アルカリ性物質、有機化合物やガス状物質など)の除去度合いを向上する。ここにおいて、ケミカル汚染物質の取入れ時、ルーム内発生時、循環時等の各状況をリアルタイムに監視し、常に一定の濃度以下に維持すると同時に、急変や増加が生じても即時に対応処置し、生産品の不良を最小限に抑えることが要求されている。【解決手段】ケミカル汚染検出センサによってリアルタイムに空気中のケミカル汚染物質を検出し、この検出を受けた制御装置によって空気清浄化装置内の集塵型フィルタとケミカルフィルタとへ分岐する空気の各通路の通気量を演算し、この演算された通気量に応じて通気路開閉手段を制御する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ケミカル汚染検出センサによってリアルタイムに空気中のケミカル汚染物質を検出し、この検出を受けた制御装置によって空気清浄化装置内の集塵型フィルタとケミカルフィルタとへ分岐する前記空気の各通路の通気量を演算し、この演算された前記通気量に応じて通気路開閉手段を制御することを特長とする空気清浄化方法。

IPC (8件)：

F24F7/007 , A61L9/00 , A61L9/20 , B01D53/86 , B01J35/02 , F24F7/00 , F24F7/06 , F24F11/02

FI (8件)：

F24F7/007 B , A61L9/00 C , A61L9/20 , B01J35/02 J , F24F7/00 A , F24F7/06 C , F24F11/02 M , B01D53/36 J

Fターム (47件)：

3L056BD01 , 3L058BF05 , 3L058BG01 , 3L058BG03 , 3L058BG04 , 3L060AA05 , 3L060CC13 , 3L060DD01 , 3L060DD05 , 3L060EE45 , 4C080AA07 , 4C080AA10 , 4C080BB02 , 4C080BB05 , 4C080CC01 , 4C080CC02 , 4C080CC03 , 4C080CC07 , 4C080CC08 , 4C080HH05 , 4C080JJ03 , 4C080LL02 , 4C080MM02 , 4D048AA21 , 4D048AA22 , 4D048AB03 , 4D048BA07Y , 4D048BA16Y , 4D048BA41Y , 4D048CC40 , 4D048CC41 , 4D048DA01 , 4D048DA02 , 4D048DA08 , 4D048DA20 , 4D048EA01 , 4D048EA04 , 4G069AA03 , 4G069BA04A , 4G069BA48A , 4G069BB04A , 4G069BC35A , 4G069CA01 , 4G069CA10 , 4G069CA17 , 4G069CD10 , 4G069DA06

引用特許：

審査官引用 (9件)

クリーンルーム内清浄度制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-334319 出願人：三機工業株式会社
空気清浄機
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-231097 出願人：三洋電機株式会社
光触媒フィルター装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-385596 出願人：三洋電機株式会社, 鳥取三洋電機株式会社

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