ガスバリアフィルムおよびその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 五十嵐光永
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-092004
公開番号（公開出願番号）：特開2008-246894
出願日： 2007年03月30日
公開日（公表日）： 2008年10月16日
要約：

【課題】ガスバリア性および密着性に優れたガスバリアフィルムおよびその製造方法を提供する。【解決手段】フィルム基材上にガスバリア層が積層された構成を有し、該ガスバリア層は、該フィルム基材に高周波電力を印加して該フィルム基材の周辺でプラズマ生成ガスをプラズマ化させ、更に、該フィルム基材に負の直流高電圧のパルスを印加しつつターゲット材料をスパッタすることにより積層されていることを特徴とするガスバリアフィルム。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

フィルム基材上にガスバリア層が積層された構成を有し、該ガスバリア層は、該フィルム基材に高周波電力を印加して該フィルム基材の周辺でプラズマ生成ガスをプラズマ化させ、更に、該フィルム基材に負の直流高電圧のパルスを印加しつつターゲット材料をスパッタすることにより積層されていることを特徴とするガスバリアフィルム。

IPC (4件)：

B32B 9/00 , C23C 14/20 , H05B 33/02 , H01L 51/50

FI (4件)：

B32B9/00 A , C23C14/20 A , H05B33/02 , H05B33/14 A

Fターム (37件)：

3K107AA01 , 3K107BB01 , 3K107CC23 , 3K107CC25 , 3K107CC43 , 3K107DD13 , 3K107DD16 , 3K107DD17 , 3K107DD19 , 3K107GG05 , 4F100AA20B , 4F100AA20D , 4F100AA33B , 4F100AK01A , 4F100AK01C , 4F100AK01D , 4F100AK25C , 4F100EH46C , 4F100EH462 , 4F100EH66B , 4F100EH66D , 4F100EH662 , 4F100EJ54C , 4F100JD02 , 4F100JD02B , 4F100JD02D , 4F100JK06 , 4F100JK15C , 4K029AA11 , 4K029AA25 , 4K029BA46 , 4K029BA52 , 4K029BB02 , 4K029CA06 , 4K029CA08 , 4K029CA13 , 4K029FA07

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平2-122924号公報
特開平2-250953号公報

審査官引用 (7件)

成膜方法及び成膜物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-148906 出願人：ソニー株式会社
炭素膜積層体の製造方法、炭素膜製造装置及び表示装置用フィルム
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-047503 出願人：株式会社クラレ, 石川県
透明ガスバリア膜の製造方法およびそれにより得られる透明ガスバリア膜
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-229601 出願人：日東電工株式会社

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