走査型プローブ顕微鏡

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村興作 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-192149
公開番号（公開出願番号）：特開2003-004619
出願日： 2001年06月26日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】【課題】種々の物性測定が可能であるとともに、生化学分野など種々の分野に適用することのできる新規な構成の走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】本発明の走査型プローブ顕微鏡における探針2の先端部分に、伝導性のアームチェア型結晶構造を有するカーボンナノチューブ3、又は先端部分が所定の修飾分子で化学的に修飾されたカーボンナノチューブ3を設ける。

請求項（抜粋）：

カンチレバーと、このカンチレバー上に形成された探針と、この探針の先端部分に形成された、アームチェア型の結晶構造を有し、伝導性を呈するカーボンナノチューブとを具えることを特徴とする、走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 13/10 , C07C 13/64 , G12B 21/20

FI (3件)：

G01N 13/10 A , C07C 13/64 , G12B 1/00 601 G

Fターム (2件)：

4H006AA03 , 4H006AB91

引用特許：

出願人引用 (13件)

スピン偏極電子線源、その作成方法及び測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-254359 出願人：富士通株式会社
走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-144912 出願人：株式会社日立製作所
位相または周波数の検出を用いる軽打原子間力顕微鏡
公報種別：公表公報出願番号：特願平8-523775 出願人：デジタル・インストルメンツ・インコーポレーテッド

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審査官引用 (8件)

ナノチューブ、ナノチューブプローブ及びそれらの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-173106 出願人：中山喜萬, 大研化学工業株式会社
特開平4-330281
特開平4-330281

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