特許
J-GLOBAL ID：200903033283010121

インピーダンス自動整合方法及び整合装置

発明者：
松野 大輔

松野 大輔 について


出願人/特許権者：
株式会社ダイヘン

株式会社ダイヘン について


代理人 (1件)： 中井 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-215626
公開番号（公開出願番号）：特開2001-044780
出願日： 1999年07月29日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 反射波電力の影響により高周波電源1からプラズマ負荷2に十分な高周波電力が供給されなくなれば適切な加工結果が得られなかったり、高周波電源1の過熱焼損の危険を避ける。【解決手段】 インピーダンス調節手段3の入力インピーダンスZiが電源側インピーダンスZsに整合する調節部目標位置X0及びY0を算出し、各調節部位置X及びYから上記X0又はY0方向に予め定めた距離ΔX又はΔYにある調節部隣接位置(X+ΔX,Y)、(X,Y+ΔY)及び(X+ΔX,Y+ΔY)の入力反射係数Rx、Ry及びRxyを算出し、これらが最小となるの方向に調節部位置X及びYを移動させ、この過程を繰り返して、調節部位置X及びYの入力反射係数Rが設定値ΔR以下になったときに整合したとみなす。
請求項（抜粋）：
複数の可変インピーダンス素子を含むインピーダンス調節手段を備え、各可変インピーダンス素子の調節部を操作するモータを制御することによって高周波電源とインピーダンス変動負荷とのインピーダンスを整合させるインピーダンス自動整合方法において、インピーダンス調節手段の電源側インピーダンスとインピーダンス調節手段の入力インピーダンスとのインピーダンスを整合させる可変インピーダンス素子の調節部位置を、インピーダンスが整合する調節部目標位置まで、反射波電力が最小となる方向に移動させてインピーダンスを整合させるインピーダンス自動整合方法。
IPC (4件)：
H03H 7/40 ,  G01R 27/04 ,  G01R 27/28 ,  H01L 21/3065
FI (4件)：
H03H 7/40 ,  G01R 27/04 ,  G01R 27/28 Z ,  H01L 21/302 B
Fターム (15件)：
2G028AA01 ,  2G028BB10 ,  2G028CG08 ,  2G028CG15 ,  2G028CG17 ,  2G028DH15 ,  2G028FK01 ,  2G028FK02 ,  2G028FK09 ,  2G028GL02 ,  2G028MS05 ,  5F004AA01 ,  5F004AA16 ,  5F004BC08 ,  5F004CA03
引用特許：
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM