表面欠陥検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-272674
公開番号（公開出願番号）：特開2000-097873
出願日： 1998年09月28日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】積層型電子写真感光体等の積層物の透明表面層に生じた縞状の疵等の表面欠陥を高感度で高速に検出する。【解決手段】感光体1の表面を検査するとき、ライン状照明装置8から出射した光を色フィルタ9を通し、感光体1の透明表面層の屈折率で定まるブリュースター角と一致する入射角で感光体1に入射する。感光体1の透明表面層からの反射光をS偏光のみを透過する偏光子11を通して1次元CCDセンサ10で受光して画像処理し感光体1の表面の欠陥を検出する。

請求項（抜粋）：

自然光又は偏光を被検査物に照射し、反射光を偏光子を通して被検査物の表面の欠陥を検査する表面欠陥検査装置において、被検査物の表面に被検査物の表面層の屈折率から決まるブリュースター角で光を入射し、被検査物表面層からの反射光をS偏光のみを透過する偏光子を通して撮像装置で受光することを特徴とする表面欠陥検査装置。

引用特許：

審査官引用 (7件)

欠陥評価装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-090594 出願人：三井金属鉱業株式会社
シートのコーティング欠陥検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-103210 出願人：石塚硝子株式会社
特開平2-201142

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