バリアフィルムとこれを用いた積層材、包装用容器、画像表示媒体およびバリアフィルムの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：米田潤三 , 皿田秀夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-375914
公開番号（公開出願番号）：特開2004-202906
出願日： 2002年12月26日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：

【課題】極めて高いバリア性を有するとともに、良好な透明性をもつバリアフィルムとその製造方法、上記のバリアフィルムを用いた積層材、包装用容器、画像表示媒体を提供する。【解決手段】基材フィルムの少なくとも一方の面にバリア層を備えるバリアフィルムとし、バリア層を、元素数比がSi:O:N:C=100:100〜150:30〜80:100〜150の範囲にあり、Si-O伸縮振動およびSi-N伸縮振動による赤外線吸収の最大ピークが830〜1060cm-1の範囲に存在し、Si-H伸縮振動による赤外線吸収ピークが2100〜2200cm-1の範囲に存在し、膜密度が1.6〜2.1g/cm3の範囲であり、グレイン間距離が40nm以下である酸化窒化珪素膜とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基材フィルムの少なくとも一方の面にバリア層を備えるバリアフィルムにおいて、前記バリア層は酸化窒化珪素膜であり、該酸化窒化珪素膜は元素数比がSi:O:N:C=100:100〜150:30〜80:100〜150の範囲にあり、Si-O伸縮振動およびSi-N伸縮振動による赤外線吸収の最大ピークが830〜1060cm-1の範囲に存在し、Si-H伸縮振動による赤外線吸収ピークが2100〜2200cm-1の範囲に存在し、膜密度が1.6〜2.1g/cm3の範囲であり、グレイン間距離が40nm以下であることを特徴とするバリアフィルム。

IPC (2件)：

B32B9/00 , B65D65/40

FI (2件)：

B32B9/00 A , B65D65/40 D

Fターム (32件)：

3E086AB01 , 3E086AD01 , 3E086AD02 , 3E086BA04 , 3E086BA15 , 3E086BA24 , 3E086BB02 , 3E086BB05 , 3E086BB51 , 3E086CA01 , 3E086CA28 , 4F100AA20B , 4F100AA33B , 4F100AK01C , 4F100AK01D , 4F100AK42 , 4F100AR00B , 4F100AR00E , 4F100AT00A , 4F100BA02 , 4F100BA03 , 4F100BA05 , 4F100BA07 , 4F100EJ612 , 4F100GB15 , 4F100GB41 , 4F100JD01B , 4F100JD03 , 4F100JD03B , 4F100JG01E , 4F100JL12D , 4F100YY00B

引用特許：

審査官引用 (9件)

バリアー性積層体及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-283456 出願人：凸版印刷株式会社
透明電極用基板
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-200834 出願人：三井東圧化学株式会社
積層体
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-323808 出願人：三井化学株式会社

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