特許

J-GLOBAL ID：200903033583502565

アルカリネガ現像型感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品

発明者： 小松 博 ,  小島 康則 ,  渡辺 直己
出願人/特許権者： 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社
代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-280426
公開番号（公開出願番号）：特開2001-100409
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】本発明は、アルカリ現像時の膨潤が少なく現像後のパターン性、基盤接着性、架橋効率、反応性、相溶性に優れるアルカリネガ現像型感光性樹脂組成物、ポリイミドパターン加工を安価なアルカリ水溶液現像にて行えるパターンの製造法、前記パターンを有する信頼性に優れた電子部品を提供する。【解決手段】(a)分子鎖に反応性不飽和官能基を有し、かつ、アルカリ水溶液に可溶である感光性ポリイミド前駆体、(b)反応性不飽和官能基を含み、反応性不飽和官能基以外の主骨格において、非共有電子対を有する原子を含有しない付加重合性化合物、及び、(c)感光剤を含有してなるアルカリネガ現像型感光性樹脂組成物、パターンの製造法及び電子部品。

請求項（抜粋）：

(a)分子鎖に反応性不飽和官能基を有し、かつ、アルカリ水溶液に可溶である感光性ポリイミド前駆体、(b)反応性不飽和官能基を含み、反応性不飽和官能基以外の主骨格において、非共有電子対を有する原子を含有しない付加重合性化合物、及び、(c)感光剤を含有してなるアルカリネガ現像型感光性樹脂組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/027 514 ,  G03F 7/027 ,  C08F 2/50 ,  C08F290/14 ,  C08G 73/12 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/075 511 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/027

FI (9件)：

G03F 7/027 514 ,  G03F 7/027 ,  C08F 2/50 ,  C08F290/14 ,  C08G 73/12 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/075 511 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (100件)：

2H025AA00 ,  2H025AA04 ,  2H025AA14 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC17 ,  2H025BC37 ,  2H025BC43 ,  2H025BC69 ,  2H025BC77 ,  2H025BC82 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA00 ,  2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096AA27 ,  2H096BA05 ,  2H096BA06 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  4J011QA03 ,  4J011QA08 ,  4J011QA09 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA17 ,  4J011QA23 ,  4J011QB17 ,  4J011SA22 ,  4J011SA25 ,  4J011SA26 ,  4J011SA28 ,  4J011SA34 ,  4J011SA62 ,  4J011SA63 ,  4J011SA64 ,  4J011SA65 ,  4J011SA78 ,  4J011SA82 ,  4J011SA83 ,  4J011TA01 ,  4J011UA01 ,  4J011UA03 ,  4J011UA04 ,  4J011UA06 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J027AD03 ,  4J027AD04 ,  4J027AD06 ,  4J027BA05 ,  4J027BA07 ,  4J027BA19 ,  4J027BA21 ,  4J027BA25 ,  4J027BA28 ,  4J027CB10 ,  4J027CC03 ,  4J027CC04 ,  4J027CC05 ,  4J027CC06 ,  4J027CC08 ,  4J027CD10 ,  4J043PA19 ,  4J043PC015 ,  4J043PC035 ,  4J043PC065 ,  4J043PC145 ,  4J043QB15 ,  4J043QB26 ,  4J043RA06 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043SB01 ,  4J043TA22 ,  4J043TB01 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA252 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UB011 ,  4J043UB062 ,  4J043UB152 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043WA09 ,  4J043WA16 ,  4J043YB07 ,  4J043YB19 ,  4J043ZA60 ,  4J043ZB22

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-172343   出願人：日立化成工業株式会社
• 高解像度感光性ポリイミド前駆体組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-123892   出願人：東レ株式会社
• 感光性ポリイミド前駆体組成物およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-170485   出願人：東レ株式会社
• 感光性ポリイミドシロキサン、組成物および絶縁膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-046122   出願人：宇部興産株式会社
• 特開平3-004226