特許
J-GLOBAL ID：200903033588352898
III族窒化物の結晶成長方法及びIII族窒化物結晶成長装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
植本 雅治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-325491
公開番号（公開出願番号）：特開2005-089254
出願日： 2003年09月18日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：
【課題】 簡単な構造でアルカリ金属を自動供給でき、成長容器内の原料を一定に保つことの可能なIII族窒化物の結晶成長方法を提供する。【解決手段】 アルカリ金属を含む融液5中で、III族金属原料と窒素原料を反応させてIII族窒化物結晶を成長させる結晶成長方法において、アルカリ金属が蒸発し、融液5の液面がアルカリ金属導入管2よりも低下すると、アルカリ金属補充容器1からアルカリ金属3が自重により供給され、融液5の液面がアルカリ金属導入管2に達すると圧力差によって供給が停止する機構によって、アルカリ金属を補充し、結晶成長を行うことを特徴としている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
アルカリ金属を含む融液中で、III族金属原料と窒素原料を反応させてIII族窒化物結晶を成長させる結晶成長方法において、アルカリ金属が蒸発し、融液液面がアルカリ金属導入管よりも低下すると、アルカリ金属補充容器からアルカリ金属が自重により供給され、融液液面がアルカリ金属導入管に達すると圧力差によって供給が停止する機構によって、アルカリ金属を補充し、結晶成長を行うことを特徴とするIII族窒化物の結晶成長方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (9件)：
4G077AA01
, 4G077AA02
, 4G077BE15
, 4G077CC04
, 4G077CC10
, 4G077EA02
, 4G077EH10
, 4G077HA02
, 4G077HA12
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
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