回転率センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：矢野敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-126095
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327650
出願日： 1996年05月21日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【課題】 2つの加速度センサが配置された振動質量を備えた回転率センサにおいて、長手方向軸線と鉛直方向軸線との両軸線を中心とした回転を測定することができるようにする。【解決手段】変位可能な第2の質量が振動質量上に配置されていて、第1及び第2の質量の変位方向が相互に平行ではなくかつ振動質量の振動方向に対しても平行ではなく配向されており、更に第2の質量の変位を検出するために別の評価手段が配置されている。

請求項（抜粋）：

有利には珪素から成る回転率センサ(30,31)であって、振動状態にもたらすことが可能な少くとも1つの振動質量(1)と、振動を惹き起すための励起手段(21)と、前記振動質量(1)上に配置された変位可能な第1の質量(2)とを有し、第1の質量(2)が該質量(2)の変位を検出するための評価手段(27)を備えている形式のものにおいて、変位可能な第2の質量(8)が前記振動質量(1)上に配置されていて、第1及び第2の質量(2,8)の変位方向が相互に平行ではなくかつ前記振動質量(1)の振動方向に対しても平行ではないように配向されており、前記第2の質量(8)の変位を検出するための別の評価手段(28,29)が配置されていることを特徴とする、回転率センサ。

IPC (2件)：

G01P 9/04 , G01C 19/56

FI (2件)：

G01P 9/04 , G01C 19/56

引用特許：

審査官引用 (7件)

角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-142764 出願人：キヤノン株式会社
特開平4-233468
振動ジャイロ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-039926 出願人：島田理化工業株式会社, 加川幸雄

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