特許
J-GLOBAL ID：200903033726485497

テープ接着装置およびテープ接着方法

発明者：
斉藤 公一

斉藤 公一 について

, 
鈴木 鉄司

鈴木 鉄司 について


出願人/特許権者：
有限会社都波岐精工

有限会社都波岐精工 について


代理人 (1件)： アイアット国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-033539
公開番号（公開出願番号）：特開2006-222231
出願日： 2005年02月09日
公開日（公表日）： 2006年08月24日
要約：
【課題】 ワークを載置する載置手段の弛みを除去し、ワークに対してテープ部材を一層良好に接着でき、テープ剥がしを容易に行え、かつワークへの塵埃の付着防止および真空吸引時のワークの位置ずれを防止することが可能なテープ接着装置を提供すること。【解決手段】 テープ部材をワークに対して接着するテープ接着装置において、ワークを載置する載置手段と、載置手段およびこの載置手段に載置されるワークを内在させると共に、内部を密封状態で閉塞可能な真空室と、ワークの法線方向に向かい、載置手段を移動させる移動手段と、真空室の内部に設けられると共に、ワークに対し、その法線方向において離間した部位でテープ部材を保持するテープ保持手段と、真空室の内部を真空吸引する吸引手段と、を具備すると共に、真空室の内部においてワークの外周縁部に当接し、該ワークの位置決めを行う位置決め手段が設けられているものである。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
テープ部材をワークに対して接着するテープ接着装置において、 上面に上記ワークが載置される伸縮シート部材と、 上記伸縮シート部材の上面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる真空室と、 上記伸縮シート部材の下面側に位置すると共に、該伸縮シート部材によって仕切られる空気導入部と、 上記伸縮シート部材の下面側であって上記空気導入部と干渉しない部位に位置すると共に、上記伸縮シート部材が載置される載置部と、 上記真空室に対して空気の導通を防止する状態で上記伸縮シート部材を保持する保持部材と、 上記伸縮シート部材に載置される上記ワークの上部で上記テープ部材を保持させるテープ保持手段と、 上記真空室の内部において上記伸縮シートの上面に載置される上記ワークの外周縁部に当接し、該ワークの位置決めを行う位置決め手段と、 上記真空室の内部を真空吸引する第1の吸引手段と、 上記空気導入部を真空吸引する第2の吸引手段と、 上記空気導入部に空気を導入する空気導入手段と、 を具備することを特徴とするテープ接着装置。
IPC (2件)：
H01L 21/304 ,  H01L 21/683
FI (2件)：
H01L21/304 622J ,  H01L21/68 N
Fターム (15件)：
3C058AA03 ,  3C058CA01 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031DA15 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031HA78 ,  5F031KA02 ,  5F031LA15 ,  5F031MA37 ,  5F031MA38 ,  5F031NA02 ,  5F031NA05
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM