特許
J-GLOBAL ID：200903057118596550

基板へのテープ貼付装置

発明者：
百瀬 信也

百瀬 信也 について

, 
岡田 尚

岡田 尚 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-005469
公開番号（公開出願番号）：特開2006-196605
出願日： 2005年01月12日
公開日（公表日）： 2006年07月27日
要約：
【課題】 基板にテープをムラ無く貼り付けて、基板とテープとの間に気泡が発生するのを防止することができると共に、基板が割れるのを防止することができる基板へのテープ貼付装置を提供する。【解決手段】 テープ2が保持されたテープ保持治具20と、該テープ2に相対向する位置に設けられて反りを有する基板1の凸面を前記テープ2に相対向させて保持すると共に前記テープ2側に相対的に移動自在に設けられた基板保持治具30と、前記基板保持治具30を前記テープ2側に相対的に移動して前記基板1の前記凸面に前記テープ2を貼付する移動手段とを具備し、且つ、前記基板保持治具30が、前記基板1の周縁部を保持する保持手段と、前記基板1の前記凸面とは反対側の凹面の前記保持手段よりも内周側に相対向する位置に設けられた弾性変形可能な弾性膜32と、前記弾性膜32を前記基板1の前記保持手段の内周側で前記凹面に沿って弾性変形させて前記基板1の前記凹面を支持する支持手段とを具備する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
テープが保持されたテープ保持治具と、該テープに相対向する位置に設けられて反りを有する基板の凸面を前記テープに相対向させて保持すると共に前記テープ側に相対的に移動自在に設けられた基板保持治具と、前記基板保持治具を前記テープ側に相対的に移動して前記基板の前記凸面に前記テープを貼付する移動手段とを具備し、且つ、前記基板保持治具が、前記基板の周縁部を保持する保持手段と、前記基板の前記凸面とは反対側の凹面の前記保持手段よりも内周側に相対向する位置に設けられた弾性変形可能な弾性膜と、前記弾性膜を前記基板の前記保持手段の内周側で前記凹面に沿って弾性変形させて前記基板の前記凹面を支持する支持手段とを具備することを特徴とする基板へのテープ貼付装置。
IPC (1件)：
H01L 21/683
FI (1件)：
H01L21/68 N
Fターム (5件)：
5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA06 ,  5F031MA37 ,  5F031PA30
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 実全昭63-65237号公報(第3頁、第3図)
  • ウエハ貼付け装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-176395   出願人：セイコーエプソン株式会社
審査官引用 (6件)
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