特許
J-GLOBAL ID：200903033957695265

光学検査装置

発明者：
加茂下 雅一

加茂下 雅一 について


出願人/特許権者：
株式会社クレイドル

株式会社クレイドル について


代理人 (1件)： 荒船 良男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-159760
公開番号（公開出願番号）：特開2003-344307
出願日： 2002年05月31日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：
【要約】【課題】 小型化に適し低廉化に資するとともに、ウエハの周面のクラックや欠けを簡単に検出できる光学検査装置を提供する。【解決手段】 点光源からの光を平行光にして前記ウエハの一面に向けて照射するフレネルレンズ又はフレネル反射鏡から構成される第1の光学部品を有する光照射手段と、フレネルレンズ又はフレネル反射鏡から構成され前記ウエハの外周部外を通る平行光を集光する第2の光学部品と、前記第2の光学部品からの光を受ける第1の受光部と、前記ウエハの周面に向けて投光用ファイバを介して光を投光する第1の投光手段と、前記ウエハの周面で反射した光を受光用ファイバを介して受ける第2の受光部とを備える。
請求項（抜粋）：
点光源からの光を平行光にして前記ウエハの一面に向けて照射するフレネルレンズ又はフレネル反射鏡から構成される第1の光学部品を有する光照射手段と、フレネルレンズ又はフレネル反射鏡から構成され前記ウエハの外周部外を通る平行光を集光する第2の光学部品と、前記第2の光学部品からの光を受ける第1の受光部と、前記ウエハの周面に向けて投光用ファイバを介して光を投光する第1の投光手段と、前記ウエハの周面で反射した光を受光用ファイバを介して受ける第2の受光部とを備えることを特徴とする光学検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  H01L 21/66
FI (3件)：
G01N 21/956 A ,  G01B 11/30 A ,  H01L 21/66 J
Fターム (49件)：
2F065AA01 ,  2F065AA03 ,  2F065AA49 ,  2F065CC19 ,  2F065DD02 ,  2F065FF10 ,  2F065FF15 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG07 ,  2F065GG12 ,  2F065GG24 ,  2F065HH03 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL02 ,  2F065LL10 ,  2F065LL11 ,  2F065LL21 ,  2F065LL30 ,  2F065LL59 ,  2F065MM02 ,  2F065MM04 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ25 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AB11 ,  2G051BB09 ,  2G051BB11 ,  2G051BB17 ,  2G051CA01 ,  2G051CA03 ,  2G051CB05 ,  2G051CC09 ,  2G051CC11 ,  2G051CC17 ,  2G051DA01 ,  2G051DA08 ,  2G051EB01 ,  4M106AA01 ,  4M106CA46 ,  4M106DB02 ,  4M106DB12 ,  4M106DB13 ,  4M106DB19 ,  4M106DJ07
引用特許：
審査官引用 (6件)
  • 半導体ウエハ位置検出装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-043435   出願人：オリンパス光学工業株式会社
  • 欠陥検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-262520   出願人：株式会社神戸製鋼所, ジェネシス・テクノロジー株式会社
  • ワークの光学的検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-166811   出願人：旭コーデン株式会社
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