特許
J-GLOBAL ID：200903034137704924
コンデンサ装置及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-238455
公開番号（公開出願番号）：特開2004-079801
出願日： 2002年08月19日
公開日（公表日）： 2004年03月11日
要約：
【課題】キャパシタの上部電極及び下部電極にそれぞれはんだバンプが接続された構造を有するコンデンサ装置において、キャパシタを構成する膜の剥離を防止できるコンデンサ装置を提供する。【解決手段】基板10の上に形成された下部電極12と誘電体膜14と上部電極16とにより構成されるキャパシタQと、キャパシタQを覆う絶縁膜18と、上部電極16の接続部16a上の絶縁膜18に形成された第1コンタクトホール18aと、第1コンタクトホール18a内に形成されたはんだ拡散防止用の電極パッド20と、電極パッド20に電気的に接続されたはんだバンプ22とを有し、上部電極16は誘電体膜14からはみ出したはみ出し部16aを備え、はみ出し部16a上で第1コンタクトホール18aと接続することを含む。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
基板と、
前記基板の上又は上方に形成された下部電極と、前記下部電極の上に形成された誘電体膜と、前記誘電体膜の上に形成された上部電極とにより構成されるキャパシタと、
前記キャパシタを覆う絶縁膜と、
前記上部電極の接続部の上の前記絶縁膜に形成された第1コンタクトホールと、
前記第1コンタクトホール内に形成されたはんだ拡散防止用の電極パッドと、
前記電極パッドに電気的に接続されたはんだバンプとを有し、
前記上部電極は前記誘電体膜からはみ出したはみ出し部を備え、前記はみ出し部上で前記第1コンタクトホールと接続することを特徴とするコンデンサ装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
審査官引用 (8件)
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薄膜電子部品
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-366682
出願人：京セラ株式会社
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特開昭63-065980
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光学的変調素子
公報種別：公開公報
出願番号：特願平10-233396
出願人：キヤノン株式会社
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