特許
J-GLOBAL ID：200903034146909784

基板収納容器

発明者：
三村 博

三村 博 について


出願人/特許権者：
信越ポリマー株式会社

信越ポリマー株式会社 について


代理人 (3件)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-307049
公開番号（公開出願番号）：特開2006-120851
出願日： 2004年10月21日
公開日（公表日）： 2006年05月11日
要約：
【課題】 基板が回転して磨耗粉等が付着するのを抑制防止したり、基板の整列を容易にできる基板収納容器を提供する。【解決手段】 半導体ウェーハWを整列収納する容器本体1と、容器本体1の開口正面を開閉する蓋体と、容器本体1の背面壁8の内面に装着されて半導体ウェーハWの後部周縁を保持する左右一対のリヤリテーナ20・20Aとを備える。そして、各リヤリテーナ20・20Aを、可撓性の内側片21と、内側片21に対向する外側片22と、内側片21と外側片22の間に架設されて半導体ウェーハWの後部周縁を挟持する支持ブロック23とから形成し、内側片21を外側片22よりも半導体ウェーハWの重心Cを通る中心線CLに接近させるとともに、内側片21の撓み量を外側片22の撓み量よりも大きくし、半導体ウェーハWの大きな回転を規制する。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口部を開閉する蓋体と、これら容器本体と蓋体の少なくともいずれか一方の対向部に設けられて基板の周縁部を保持する複数のリテーナとを含んでなる基板収納容器であって、 各リテーナは、可撓性の内側片と、この内側片に対向する外側片と、これら内側片と外側片との間に設けられて基板の周縁部を支持する支持ブロックとを有し、内側片を外側片よりも基板の重心を通る中心線に接近させるとともに、内側片の撓み量を外側片の撓み量よりも大きくし、基板の回転を抑制するようにしたことを特徴とする基板収納容器。
IPC (3件)：
H01L 21/673 ,  B65D 59/00 ,  B65D 85/86
FI (3件)：
H01L21/68 T ,  B65D59/00 Z ,  B65D85/38 R
Fターム (38件)：
3E066AA74 ,  3E066HA04 ,  3E066JA01 ,  3E066KA02 ,  3E066KA20 ,  3E066NA30 ,  3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BA20 ,  3E096BA24 ,  3E096BB04 ,  3E096CA02 ,  3E096CB03 ,  3E096CC02 ,  3E096DA05 ,  3E096DA17 ,  3E096DA23 ,  3E096DB01 ,  3E096DC04 ,  3E096EA02X ,  3E096EA02Y ,  3E096FA01 ,  3E096FA07 ,  3E096FA09 ,  3E096FA10 ,  3E096GA04 ,  3E096GA11 ,  3E096GA20 ,  5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA03 ,  5F031EA09 ,  5F031EA10 ,  5F031EA14 ,  5F031EA16 ,  5F031EA19 ,  5F031PA21 ,  5F031PA26
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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