強誘電体素子およびそれを用いたアクチュエータ、インクジェットヘッドならびにインクジェット記録装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-328841
公開番号（公開出願番号）：特開2003-133605
出願日： 2001年10月26日
公開日（公表日）： 2003年05月09日
要約：

【要約】【課題】強誘電体膜の絶縁性向上とともに信頼性および耐圧性の向上を図ることのできる強誘電体素子を得る。【解決手段】共通電極11と、共通電極11上に形成された強誘電体機能膜10と、強誘電体機能膜10上に形成された個別電極3とを有し、強誘電体機能膜10を、強誘電体膜10aおよび当該強誘電体膜10aの構成元素の少なくとも一種類の元素を含む絶縁強化膜10bで構成する。

請求項（抜粋）：

第1の電極と、前記第1の電極上に形成された強誘電体機能膜と、前記強誘電体機能膜上に形成された第2の電極とを有し、前記強誘電体機能膜は、強誘電体膜および当該強誘電体膜の構成元素の少なくとも一種類の元素を含む絶縁強化膜から構成されていることを特徴とする強誘電体素子。

IPC (5件)：

H01L 41/09 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , H01L 41/18 , H01L 41/187

FI (5件)：

H01L 41/08 C , H01L 41/08 U , H01L 41/18 101 D , H01L 41/18 101 Z , B41J 3/04 103 A

Fターム (9件)：

2C057AF65 , 2C057AF70 , 2C057AF93 , 2C057AG43 , 2C057AG47 , 2C057AP16 , 2C057AP52 , 2C057BA04 , 2C057BA14

引用特許：

審査官引用 (12件)

多層酸化物薄膜素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-311900 出願人：富士ゼロックス株式会社
強誘電体記憶装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-156456 出願人：セイコーエプソン株式会社
インクジェット記録装置とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-161836 出願人：松下電器産業株式会社

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