特許
J-GLOBAL ID：200903034199170160

基板の薄厚平坦化加工装置

発明者：
斉藤 浩嗣

斉藤 浩嗣 について

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柏 守幸

柏 守幸 について

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久保 富美夫

久保 富美夫 について


出願人/特許権者：
株式会社岡本工作機械製作所

株式会社岡本工作機械製作所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-055670
公開番号（公開出願番号）：特開2009-208212
出願日： 2008年03月06日
公開日（公表日）： 2009年09月17日
要約：
【課題】基板研削加工時、割れやクラック発生の機会が稀な基板の薄厚平坦化加工装置の提供。【解決手段】インデックス型回転ポーラスセラミック製ロータリーチャックテーブル上に載置された基板表面に平面粗研削装置100の回転/直動可能な砥石軸に軸承されたカップホイール型砥石14を摺擦させて粗研削加工した後、ついで、粗研削加工基板表面に仕上加工装置200の回転/直動可能なツール軸に軸承された仕上加工ツールを摺擦させて基板表面を仕上加工する薄厚平坦化加工装置であって基板表面加工時の砥石軸およびツール軸の基板への切り込みが、回転/直動アクチュエータの駆動により行われる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
機枠の中心部より起立して設けられたインデックス型回転テーブルの固定軸と該機枠の外周縁部に起立して設けられた上方開口部を有する円筒有底状ベース枠体を備える機枠、前記インデックス型回転テーブルの固定軸を中心に円周上に均等間隔で設けられた3組みの基板チャックロータリーテーブル機構、該基板チャックロータリーテーブル機構を前記インデックス型回転テーブルの固定軸の回りに回転自在に設けたインデックス型回転テーブル機構、前記基板チャックロータリーテーブル機構の第一ポーラスセラミック製ロータリーチャックテーブル上に基板を載置するまたは第一ポーラスセラミック製ロータリーチャックテーブルから基板を搬送する基板搬送用ロボット、前記基板チャックロータリーテーブル機構の第二ポーラスセラミック製ロータリーチャックテーブル上方に回転/直動可能な砥石軸に軸承されたカップホイール型砥石を静圧軸受と磁気軸受で回転および直動可能に支持した粗研削ヘッド、前記基板チャックロータリーテーブル機構の第三ポーラスセラミック製ロータリーチャックテーブル上方に回転/直動可能なツール軸に軸承された仕上加工ツールを静圧軸受と磁気軸受で回転および直動可能に支持した仕上加工ツールヘッド、前記粗研削ヘッドを中央部に垂下させた正三角形固定板をこの固定板下面の中心点に対し正三角形の頂点位置の三箇所に前記固定板を上下移動させるキネマカップリングとシリンダロッドを備える固定板昇降機構3基、および、前記仕上加工ツールヘッドを中央部に垂下させた正三角形固定板をこの固定板下面の中心点に対し正三角形の頂点位置の三箇所に前記固定板を上下移動させるキネマカップリングとシリンダロッドを備える固定板昇降機構3基とを備える、基板の薄厚平坦化加工装置であって、前記インデックス型回転テーブルは、前記第一ポーラスセラミック製ロータリーチャックテーブルと基板搬送用ロボットとでローディング/アンローディングステージを、前記第二ポーラスセラミック製ロータリーチャックテーブルと粗研削ヘッドとで粗研削ステージを、第三ポーラスセラミック製ロータリーチャックテーブルと仕上加工ツールヘッドとで仕上加工ステージを構成するものであることを特徴とする基板の薄厚平坦化加工装置。
IPC (3件)：
B24B 7/04 ,  B24B 41/047 ,  H01L 21/304
FI (3件)：
B24B7/04 A ,  B24B41/047 ,  H01L21/304 621C
Fターム (9件)：
3C034AA08 ,  3C034BB07 ,  3C034BB15 ,  3C034BB73 ,  3C043BA04 ,  3C043BA08 ,  3C043BA09 ,  3C043CC04 ,  3C043DD02
引用特許：
出願人引用 (13件)
  • エアースピンドルの傾き調整機構
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-298165   出願人：株式会社ディスコ
  • 米国特許出願公開第2007/0286537号明細書
  • 静圧受け構造
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-044492   出願人：株式会社ナガセインテグレックス
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