特許
J-GLOBAL ID:200903034247668087

測定機の校正方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊丹 勝
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-046618
公開番号(公開出願番号):特開2002-328018
出願日: 2002年02月22日
公開日(公表日): 2002年11月15日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 校正の自動化を可能とすると共に球形状のパラメータ推定の精度を高めて校正の精度を向上させる。【解決手段】 予め校正された基準測定機10の測定空間と校正対象である被校正測定機20の測定空間とが重なるように基準測定機10と被校正測定機20とを設置する。被校正測定機20は、ワークを載置する第1のベースプレートを基準として設けられた第1のガイド及び第1のスライダからなる第1の案内機構を備える。基準測定機10は、被校正測定機20を載置する第2のベースプレートを基準として設けられた第2のガイド及び第2のスライダからなる第2の案内機構を備える。第1及び第2のスライダの一方には基準器が設置される。演算手段は、第1及び第2のスライダの他方に設置されたセンサーによって基準器を検知した時に、第1及び第2の測定値を取り込み、これら第1及び第2の測定値を基にして被校正測定機20を校正する。
請求項(抜粋):
予め校正された基準測定機の測定空間と校正対象である被校正測定機の測定空間とが重なるように前記基準測定機と被校正測定機とを設置し、前記基準測定機及び被校正測定機の測定空間内の複数箇所のそれぞれについて前記被校正測定機による第1の測定値と前記基準測定機による第2の測定値とを取得し、前記第1及び第2の測定値に基づいて前記被校正測定機を校正することを特徴とする測定機の校正方法。
Fターム (7件):
2F069AA04 ,  2F069DD16 ,  2F069EE02 ,  2F069FF07 ,  2F069HH01 ,  2F069HH14 ,  2F069LL02
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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