特許
J-GLOBAL ID:200903034493137295

スジ状ムラ欠陥の検査方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 金山 聡
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-000683
公開番号(公開出願番号):特開2006-189293
出願日: 2005年01月05日
公開日(公表日): 2006年07月20日
要約:
【課題】スジ状ムラ欠陥の短辺方向の幅に影響されることなく高い検査性能を得ることができるスジ状ムラ欠陥の検査方法および装置を提供する。【解決手段】入力画像に対するノイズ除去過程と、ノイズ除去画像に対する検出すべきスジ状ムラ欠陥の方向の平滑化フィルターを適用する平滑化過程と、平滑化画像に対してその欠陥の方向を除く3方向に1次微分フィルタを適用する1次微分過程と、1次微分画像から絶対値画像を得る絶対値化過程と、3方向の絶対値画像に対する最大値化過程と、最大値画像に対する2値化過程と、2値画像に対するラベリング過程と、ラベルA領域を抽出する領域抽出過程と、ラベルA領域におけるムラ値を演算するムラ値演算過程と、ムラ値に基づいてラベルA領域の良否を判定する良否判定過程とを有するようにしたスジ状ムラ欠陥検査方法およびその方法を適用した装置。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
入力画像に対してノイズ除去フィルタを適用しノイズ除去画像を得るノイズ除去過程と、 前記ノイズ除去画像に対して検出すべきスジ状ムラ欠陥の方向の平滑化フィルターを適用し平滑化画像を得る平滑化過程と、 前記平滑化画像に対して縦方向と横方向と斜め2方向の4方向の中から前記検出すべきスジ状ムラ欠陥の方向を除く3方向について1次微分フィルタを適用して前記3方向の1次微分画像を得る1次微分過程と、 前記3方向の1次微分画像の画素の画素値をその絶対値に置き換えて前記3方向の絶対値画像を得る絶対値化過程と、 前記3方向の絶対値画像における同一位置の画素の画素値を比較して最も大きい画素値を画素の画素値とする最大値画像を得る最大値化過程と、 前記最大値画像に対して所定の閾値を適用し2値画像を得る2値化過程と、 前記2値画像に対してラベリングを行いラベリング画像を得るラベリング過程と、 前記ラベリング画像からラベルリング番号がAであるラベルA領域を抽出する領域抽出過程と、 前記ラベルA領域におけるムラ領域と非ムラ領域の画素値の差であるムラ値を演算するムラ値演算過程と、 前記ムラ値に基づいて前記ラベルA領域の良否を判定する良否判定過程と、 を有することを特徴とするスジ状ムラ欠陥の検査方法。
IPC (3件):
G01N 21/88 ,  G01B 11/30 ,  G06T 1/00
FI (3件):
G01N21/88 J ,  G01B11/30 Z ,  G06T1/00 300
Fターム (52件):
2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065CC02 ,  2F065CC19 ,  2F065DD04 ,  2F065FF41 ,  2F065FF67 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG07 ,  2F065GG16 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ25 ,  2F065PP16 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ34 ,  2F065QQ42 ,  2G051AA32 ,  2G051AB02 ,  2G051AB20 ,  2G051BA01 ,  2G051BB17 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051DA06 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA16 ,  2G051EA25 ,  2G051EC01 ,  2G051EC05 ,  2G051ED11 ,  2G051ED21 ,  5B057AA01 ,  5B057BA01 ,  5B057CE02 ,  5B057CE05 ,  5B057CE06 ,  5B057CE12 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC08 ,  5B057DC14 ,  5B057DC16
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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