特許
J-GLOBAL ID：200903034777066436
蒸着用マスクおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
清水 善▲廣▼
, 阿部 伸一
, 辻田 幸史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-022211
公開番号（公開出願番号）：特開2004-232025
出願日： 2003年01月30日
公開日（公表日）： 2004年08月19日
要約：
【課題】従来の蒸着用マスクに比較して蒸着パターンの精細化をより推進することができる蒸着用マスクおよびその製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の蒸着用マスクは、低熱膨張率の金属箔からなる第1の層と、この金属箔とエッチング特性が異なる成分からなる第2の層との積層構造を有し、第2の層に所定寸法のマスクパターンが形成され、第2の層に形成された個々の開口部に対応する第1の層の部分が、第2の層に形成された開口部よりも表面に向かって幅広に穿孔されて貫通孔が設けられている、第1の層の表面が蒸着源に面するようにして用いる、蒸着材料を所定のパターンで被蒸着基板の表面に蒸着させるための蒸着用マスクである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
低熱膨張率の金属箔からなる第1の層と、この金属箔とエッチング特性が異なる成分からなる第2の層との積層構造を有し、第2の層に所定寸法のマスクパターンが形成され、第2の層に形成された個々の開口部に対応する第1の層の部分が、第2の層に形成された開口部よりも表面に向かって幅広に穿孔されて貫通孔が設けられている、第1の層の表面が蒸着源に面するようにして用いる、蒸着材料を所定のパターンで被蒸着基板の表面に蒸着させるための蒸着用マスク。
IPC (4件)：
C23C14/24
, C23C14/04
, H05B33/10
, H05B33/14
C23C14/24 G
, C23C14/04 A
, H05B33/10
, H05B33/14 A
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029BD00
, 4K029CA01
, 4K029CA05
, 4K029EA01
, 4K029HA02
, 4K029HA03
