液晶パネル用スペーサの計数方法、計数装置及び液晶パネル用スペーサの散布装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-049014
公開番号（公開出願番号）：特開平9-244033
出願日： 1996年03月06日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】液晶パネル基板に散布されたスペーサを計数する工程に際して、液晶パネル基板の表面上に配線層や電極層等の表面構造が存在してもこれらの反射光に妨害されることなくスペーサを計数することのできる計数方法及び計数装置を実現する。【解決手段】液晶パネル基板20の表面上には、前工程において散布された多数のスペーサが分散配置されており、所定の入射光束26を液晶パネル基板20の表面に対して、所定の垂直方向入射角θと、所定の平面方向入射角φとを備える方向から照射し、このときの液晶パネル基板20の上方に放出される散乱光を検出する。

請求項（抜粋）：

表面に配線層及び/又は電極層を形成した液晶パネル基板上に散布されたスペーサの数を計数するための液晶パネル用スペーサの計数方法であって、前記液晶パネル基板の表面に対して所定方向から斜めに入射するように所定の垂直方向入射角を備えるとともに、前記配線層及び/又は前記電極層の周縁部の延長方向に対して所定方向から斜めに入射するように所定の平面方向入射角を備えた光束を前記液晶パネル基板に照射し、前記液晶パネル基板から発生する上方への散乱光に基づく画像から前記スペーサの数を計数することを特徴とする液晶パネル用スペーサの計数方法。

引用特許：

審査官引用 (8件)

粒子計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-334269 出願人：株式会社東芝, 東京電子工業株式会社
粒子分布測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-231688 出願人：株式会社東芝
異物検出方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-286147 出願人：株式会社日立製作所

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