アクティブ除振装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：熊谷隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-387121
公開番号（公開出願番号）：特開2002-188679
出願日： 2000年12月20日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】簡単な構成で且つ除振台テーブルに取り付ける高性能の振動センサの少なくとも一部を削除できる安価なアクティブ除振装置を提供すること。【解決手段】除振台テーブル上の第1振動検出手段と、除振台テーブルの変位センサ17と、第1振動検出手段の第1振動検出出力と変位センサの変位検出出力により除振テーブルの振動を除去する制御信号を得るための除振制御演算を行うアクティブ除振制御装置15’を具備し、アクティブ除振制御装置で電磁アクチュエータ14を制御して振動を除去するように構成したアクティブ除振装置において、回転体磁気軸受装置の磁気軸受駆動電流のフィードバックループ信号をアクティブ除振制御装置に第2振動検出出力として入力し、アクティブ除振制御装置は第2振動検出出力と第1振動検出出力とを振動検出出力として除振制御演算を行う。

請求項（抜粋）：

軸受に磁気軸受装置を用いる機械装置と、該機械装置の磁気軸受装置を搭載する除振台テーブルと、該除振台テーブルを支持する弾性バネと、該除振台テーブルを電磁石によって振動制御する電磁アクチュエータと、該除振台テーブル上の振動を検出する第1振動検出手段と、除振台テーブルの変位を検出する変位センサと、該第1振動検出手段の第1振動検出出力と該変位センサの変位検出出力により除振台テーブルの振動を除去する制御信号を得るための除振制御演算を行う除振制御手段を具備し、該除振制御手段で前記電磁アクチュエータを制御して振動を除去するように構成したアクティブ除振装置において、前記磁気軸受装置の変位検出出力又は磁気軸受駆動電流のフィードバックループ信号を前記除振制御手段に第2振動検出出力として入力し、該除振制御手段は該第2振動検出出力と前記第1振動検出出力とを振動検出出力として前記除振制御演算を行うことを特徴とするアクティブ除振装置。

IPC (2件)：

F16F 15/02 , F16C 32/04

FI (2件)：

F16F 15/02 A , F16C 32/04 A

Fターム (19件)：

3J048AB08 , 3J048AB11 , 3J048AD02 , 3J048BC02 , 3J048DA01 , 3J048EA13 , 3J102AA01 , 3J102BA03 , 3J102BA19 , 3J102CA02 , 3J102DA02 , 3J102DA03 , 3J102DA09 , 3J102DB05 , 3J102DB10 , 3J102DB11 , 3J102DB27 , 3J102DB37 , 3J102GA20

引用特許：

出願人引用 (9件)

アクティブ防振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-215772 出願人：大阪瓦斯株式会社
除振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-172418 出願人：株式会社荏原製作所, 鹿島建設株式会社
特開昭56-092396

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