特許
J-GLOBAL ID：200903035604616810
走査型熱顕微鏡のプローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (4件)：
志賀 正武
, 渡邊 隆
, 村山 靖彦
, 実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-257548
公開番号（公開出願番号）：特開2007-086079
出願日： 2006年09月22日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：
【課題】本発明は、走査型熱顕微鏡のプローブに関する。【解決手段】本発明に係る走査型顕微鏡のプローブは、カンチレバーと、該カンチレバーに形成される第一導電層と、該第一導電層に形成され、穴が設けられる絶縁層と、該絶縁層の表面に形成される第二導電層と、熱電対と、該熱電対の端部に設置されるカーボンナノチューブと、を含む。前記第一導電層は前記絶縁層の穴を通して前記第二導電層と接触して、前記熱電対が形成される。前記カーボンナノの一端は前記熱電対に接続される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
カンチレバーと、該カンチレバーに形成される第一導電層と、該第一導電層に形成され、穴が設けられる絶縁層と、該絶縁層の表面に形成される第二導電層と、熱電対と、該熱電対の端部に設置されるカーボンナノチューブと、を含み、
前記第一導電層は前記絶縁層の穴を通して前記第二導電層と接触して、前記熱電対が形成され、
前記カーボンナノチューブの一端は前記熱電対に接続されることを特徴とする走査型熱顕微鏡のプローブ。
IPC (4件)：
G01N 13/10
, G01N 25/18
, G12B 21/02
, G01K 7/02
G01N13/10 H
, G01N25/18 E
, G12B1/00 601A
, G01K7/02 A
2F056KA03
, 2F056KA16
, 2G040AB08
, 2G040AB09
, 2G040BA25
, 2G040DA03
, 2G040DA12
, 2G040EA02
, 2G040EB02
, 2G040ZA01
