特許
J-GLOBAL ID：200903079985327182

SPMカンチレバー及びその製造方法

発明者：
北澤 正志

北澤 正志 について


出願人/特許権者：
オリンパス光学工業株式会社

オリンパス光学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 最上 健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-284276
公開番号（公開出願番号）：特開2003-090788
出願日： 2001年09月19日
公開日（公表日）： 2003年03月28日
要約：
【要約】【課題】 高アスペクト比の探針を有し、探針先端が測定試料表面と垂直に向き合い、あらゆる試料形状の表面形状を正確且つ高分解能で測定可能なSPMカンチレバー及びその製造方法を提供する。【解決手段】 支持部1と、該支持部から延びたレバー部2と、該レバー部の自由端側4に探針軸5を傾けて配置され、3面で形成されたテトラヘドラル型探針3とを備え、カンチレバーの探針形成側の全面にわたってNi などの触媒金属膜6を設けて、探針先端7にレバー部2に対する垂直面よりもレバー自由端側の方向に傾けて、すなわち探針軸5方向にCNT8を形成して、CNT付きのSPMカンチレバーを構成する。
請求項（抜粋）：
支持部と、該支持部から延びたレバー部と、該レバー部の自由端近傍に形成された少なくとも3面以上の面で構成された探針とからなるSPMカンチレバーにおいて、カーボンナノチューブが前記探針の先端に、前記レバー部に対する垂直面から一定の角度傾いた方向に、選択的に突出形成されていることを特徴とするSPMカンチレバー。
IPC (2件)：
G01N 13/16 ,  G12B 21/08
FI (2件)：
G01N 13/16 C ,  G12B 1/00 601 D
引用特許：
審査官引用 (8件)
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