特許

J-GLOBAL ID：200903035698898600

レジスト組成物用重合体、ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法

発明者： 竹下 優 ,  林 亮太郎 ,  岩井 武 ,  百瀬 陽 ,  大竹 敦 ,  上田 昭史 ,  藤原 匡之
出願人/特許権者： 三菱レイヨン株式会社
代理人 (7件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-183640
公開番号（公開出願番号）：特開2006-008737
出願日： 2004年06月22日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：

【課題】 解像性やレジストパターン形状に優れるレジスト組成物用重合体、ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供すること。また、有機溶剤に対する溶解性に優れ、ディフェクトリスクを低減できるレジスト組成物用重合体、ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法を提供すること。【解決手段】 酸解離性溶解抑制基を含有する(メタ)アクリル酸エステルから誘導される構成単位(a1)と、アルキル基を有さない単環または多環式のラクトン残基を含有する(メタ)アクリル酸エステルから誘導される構成単位(a2)と、下記一般式(3)で表される構成単位(a3)とを含有することを特徴とするレジスト組成物用重合体。【化1】【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

酸解離性溶解抑制基を含有する(メタ)アクリル酸エステルから誘導される構成単位(a1)と、 アルキル基を有さない単環または多環式のラクトン残基を含有する(メタ)アクリル酸エステルから誘導される構成単位(a2)と、 下記一般式(3)

IPC (4件)：

C08F 220/28 ,  C08F 220/12 ,  G03F 7/039 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

C08F220/28 ,  C08F220/12 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R

Fターム (28件)：

2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC03 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  4J100AL08P ,  4J100BC07P ,  4J100BC08P ,  4J100BC09P ,  4J100BC12P ,  4J100BC23Q ,  4J100BC53R ,  4J100BC55R ,  4J100CA03 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ポジ型レジスト組成物及びレジストパターンの形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-369340   出願人：東京応化工業株式会社

審査官引用 (4件)

• (メタ)アクリル系重合体および感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-290461   出願人：JSR株式会社
• 重合体、化学増幅型レジスト組成物、および、パターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-368904   出願人：三菱レイヨン株式会社
• レジスト用共重合体およびその製造方法、レジスト組成物、ならびにパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-040174   出願人：三菱レイヨン株式会社
• (共)重合体、製造方法、レジスト組成物およびパターン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-283986   出願人：三菱レイヨン株式会社