特許
J-GLOBAL ID:200903035700935870
マイクロレンズおよびその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 堀井 豊
, 野田 久登
, 酒井 將行
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-241890
公開番号(公開出願番号):特開2006-058720
出願日: 2004年08月23日
公開日(公表日): 2006年03月02日
要約:
【課題】 作製が容易で、作製精度および位置精度の高いマイクロレンズ、およびその製造方法を提供する。【解決手段】 低階調のグレースケールマスク3を用いて感光性樹脂2を露光し、頂上部に平坦部をもつ感光性樹脂層2aを形成する。その後、熱硬化樹脂5をスプレーコーティングし、加熱する。表面張力の効果により、頂上部において、熱硬化樹脂5は中央部が盛り上がって球面状に硬化し、球面状のマイクロレンズ10が形成される。低階調のグレースケールマスクを用いてマイクロレンズ10を形成できるので、マイクロレンズ作製コストを低減できる。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
略凸型状の透光性の感光性材料と、前記感光性材料の上に積層された透光性薄膜とにより構成された略凸型状のマイクロレンズであって、
当該マイクロレンズの頂上部において、前記透光性薄膜の膜厚さが、前記頂上部を取囲む周囲の膜厚さもよりも厚くなっていることを特徴とするマイクロレンズ。
IPC (4件):
G02B 3/00
, B29D 11/00
, G03F 7/20
, G03F 7/40
FI (5件):
G02B3/00 A
, G02B3/00 Z
, B29D11/00
, G03F7/20 501
, G03F7/40 521
Fターム (18件):
2H096AA28
, 2H096BA05
, 2H096BA06
, 2H096HA01
, 2H096HA05
, 2H096HA30
, 2H097BB01
, 2H097LA17
, 4F213AA33
, 4F213AA39
, 4F213AA44
, 4F213AH75
, 4F213WA41
, 4F213WA54
, 4F213WA58
, 4F213WA74
, 4F213WB01
, 4F213WK03
引用特許:
出願人引用 (2件)
審査官引用 (6件)
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