特許
J-GLOBAL ID：200903035731878173

スピンコータの飛散防止方法

発明者：
青田 博晃

青田 博晃 について

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岡田 英了

岡田 英了 について

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赤松 哉志

赤松 哉志 について


出願人/特許権者：
新エスティーアイ テクノロジー株式会社

新エスティーアイ テクノロジー株式会社 について


代理人 (1件)： 西教 圭一郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-130417
公開番号（公開出願番号）：特開2001-300409
出願日： 2000年04月28日
公開日（公表日）： 2001年10月30日
要約：
【要約】【課題】 装置の大型化を招くことなく、塗布液の飛散による対象物表面への汚れを防ぐ。【解決手段】 回転台23上で回転する基板29の外方に屋根30を配置し、基板29の外縁に臨んで開口部31を形成させる。基板29の外縁から振切られる塗布液の飛沫は、開口部31に進入し、回転台23との間の案内通路32から周囲溝27まで導かれる。飛沫が途中から基板29上に戻ったり、周囲溝27に貯留されている塗布液が基板29上に飛散して戻ることを、屋根30で防ぎ、基板29の汚れ防止を図ることができる。屋根30を設けることによって、基板29と回転台23の開演との距離を大きくとる必要がなくなり、装置の大型化を避けることができる。
請求項（抜粋）：
板状の対象物を回転台の表面に吸着して、該回転台を対象物の表面に垂直な軸線まわりに回転させ、遠心力を利用して該表面上に塗布液の均一な薄膜を形成し、対象物の周縁から外方に振り切られる塗布液を回転台の外縁に設けられる貯留部に貯めておくスピンコータで、一旦外方に振切られる塗布液が飛散して対象物を汚染することを防止する方法であって、対象物の外周縁全体に臨んで開口して、該周縁から振切られる塗布液を回転台の表面に沿って回転台外縁の貯留部に導く案内通路を、該回転台の表面上で該対象物の外方の全周部に設ける屋根によって形成することを特徴とするスピンコータの飛散防止方法。
IPC (4件)：
B05D 1/40 ,  B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
B05D 1/40 A ,  B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/30 564 D
Fターム (15件)：
2H025AA18 ,  2H025AB13 ,  2H025AB20 ,  2H025EA05 ,  4D075AC64 ,  4D075AC79 ,  4D075AC92 ,  4D075DA08 ,  4D075DC21 ,  4F042AA07 ,  4F042EB05 ,  4F042EB06 ,  4F042EB09 ,  4F042EB23 ,  5F046JA06
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 回転処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-137224   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
  • 回転塗布装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-146285   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
  • 回転式塗布装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-098748   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
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