特許
J-GLOBAL ID：200903035735053381
ドライエッチング装置用部品
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 淳 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-203420
公開番号（公開出願番号）：特開平10-101432
出願日： 1997年07月29日
公開日（公表日）： 1998年04月21日
要約：
【要約】【課題】 耐プラズマ性に優れ、汚染性の少ないドライエッチング装置用部品を提供する。【解決手段】 密度が2.9g/cm3 以上であり、且つ炭化ケイ素粉末と非金属系焼結助剤とが均質に混合された混合物を焼結することにより得られた炭化ケイ素焼結体を用いる。ここで、炭化ケイ素焼結体が前記混合物を非酸化雰囲気下でホットプレスすることにより得られたものであること、炭化ケイ素粉末が、液状のケイ素化合物を含むケイ素源と、加熱により炭素を生成する液状の有機化合物を含む炭素源と、重合又は架橋触媒とを混合して得られた混合物を固化して固形物を得る固化工程と、得られた固形物を非酸化性雰囲気下で加熱炭化した後、さらに非酸化性雰囲気で焼成する焼成工程とを含む製造方法により得られたものであること、炭化ケイ素焼結体に含まれる不純物元素の総含有量が1ppm以下であることが好ましい。
請求項（抜粋）：
密度が2.9g/cm3 以上であり、且つ炭化ケイ素粉末と非金属系焼結助剤とが均質に混合された混合物を焼結することにより得られた炭化ケイ素焼結体で形成されたことを特徴とするドライエッチング装置用部品。
IPC (3件)：
C04B 35/573
, C04B 35/626
, H01L 21/3065
C04B 35/56 101 V
, C04B 35/56 101 Q
, H01L 21/302 B
