特許
J-GLOBAL ID：200903035819764062

走査型プローブ顕微鏡

発明者：
伊藤 武史

伊藤 武史 について

, 
大田 昌弘

大田 昌弘 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-304643
公開番号（公開出願番号）：特開2008-122168
出願日： 2006年11月10日
公開日（公表日）： 2008年05月29日
要約：
【課題】カンチレバーを共振点付近で振動させながら試料表面の走査を行う場合に、その振動振幅のダイナミックレンジを拡大することでより最適な条件での表面観察を可能とする。【解決手段】圧電定数の相違する複数の圧電素子21、22を絶縁材23を挟んで振動方向に重ね、各圧電素子21、22に独立に交流電圧を印加する駆動部24、25を設ける。カンチレバー10を小さく振動させたい場合には圧電定数の小さな圧電素子を選んで、それにのみ駆動部から交流電圧を印加し、逆にカンチレバー10を大きく振動させたい場合には圧電定数の大きな圧電素子を選んで、それにのみ駆動部から交流電圧を印加する、又は複数の圧電素子を同時に駆動する。これにより、振動振幅のダイナミックレンジを広げることができる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
探針が設けられたカンチレバーをその共振点付近で振動させながら試料表面を走査し、試料表面と探針との間の相互作用による振動の変化に基づいて試料表面に関する情報を収集する走査型プローブ顕微鏡において、 a)前記カンチレバーを振動させるための複数の振動子と、 b)前記複数の振動子に対しそれぞれ独立に励振用の交流電圧を印加する振動子駆動手段と、 を備え、前記複数の振動子の選択又は組み合わせにより前記カンチレバーの振動振幅を調整可能としたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (1件)：
G01N 13/16
FI (1件)：
G01N13/16 A
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (4件)
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