特許
J-GLOBAL ID：200903035821962866

石英ガラス部品及びその製造方法並びにそれを用いた装置

発明者：
向後 雅則

向後 雅則 について

, 
高橋 小弥太

高橋 小弥太 について


出願人/特許権者：
東ソー株式会社

東ソー株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-117122
公開番号（公開出願番号）：特開2004-143583
出願日： 2003年04月22日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：
【課題】本発明の目的は、パーティクルの発生が少なく、成膜装置、プラズマ処理装置などで室温から高温まで長期間連続使用が可能で、使用後の酸洗浄による再利用回数が増加しても引き続きパーティクルが発生し難い石英ガラス部品及びその製造方法並びにそれを用いた装置を得ることにある。【解決の手段】本発明は、表面粗さRaが5〜100μmで、基材界面から石英溶射膜表面に向かって相対密度が低くなる様な密度勾配を有する石英ガラス部品、石英溶射膜を複数の堆積層で形成する際に溶射の熱量を変化させる製造方法、並びに得られた石英ガラス部品を用いた成膜装置、プラズマエッチング装置、プラズマクリーニング装置、によって構成される。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
基材面上に石英溶射膜が形成されている石英ガラス部品であって、表面粗さRaが5〜100μmであり、当該石英溶射膜が基材界面から石英溶射膜表面に従って相対密度が低くなる様に密度の勾配を有することを特徴とする石英ガラス部品。
IPC (4件)：
C23C4/10 ,  C03C17/04 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065
FI (4件)：
C23C4/10 ,  C03C17/04 Z ,  H01L21/205 ,  H01L21/302 101G
Fターム (26件)：
4G059AA08 ,  4G059AB01 ,  4G059AB09 ,  4G059AB11 ,  4G059AC01 ,  4G059CA01 ,  4G059CB08 ,  4K031AA01 ,  4K031AA08 ,  4K031AB04 ,  4K031AB07 ,  4K031AB09 ,  4K031BA07 ,  4K031CB08 ,  4K031CB18 ,  4K031CB47 ,  4K031CB48 ,  4K031DA01 ,  4K031DA04 ,  4K031EA02 ,  4K031EA11 ,  5F004AA15 ,  5F004BB29 ,  5F045AA06 ,  5F045EB06 ,  5F045EC05
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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