特許
J-GLOBAL ID：200903035961278345
静電チャック
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-033533
公開番号（公開出願番号）：特開平11-220013
出願日： 1998年02月02日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 吸着した被吸着体の汚染が少ない静電チャックを提供すること。【解決手段】 電極2と、その上に設けられた絶縁層3とを有し、電極2に電圧を印加することにより、絶縁層3上に被吸着体Wを静電吸着する静電チャックであり、絶縁層3の表面に突起6を有し、さらに突起6を有する絶縁層4が樹脂シート7により覆われている。また、絶縁層の表面に存在する突起の上面の面積が、絶縁層全面積に対して5〜30%である。また、絶縁層の表面に存在する突起の高さが5〜25μmである。また、電極と、その上に設けられた絶縁層とを有し、電極に電圧を印加することにより、絶縁層上に被吸着体を静電吸着する静電チャックであって、電極の表面に突起を有し、突起を有する電極が絶縁層として機能する樹脂シートにより覆われている。また、樹脂シートの厚さが100μm以下である。
請求項（抜粋）：
電極と、その上に設けられた絶縁層とを有し、電極に電圧を印加することにより、絶縁層上に被吸着体を静電吸着する静電チャックであって、前記絶縁層の前記被吸着体側の表面に突起を有し、さらに突起を有する絶縁層が樹脂シートにより覆われていることを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 R
, H02N 13/00 D
