厚み測定方法及び装置並びにウエハ

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：四宮通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-036195
公開番号（公開出願番号）：特開2002-243416
出願日： 2001年02月13日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：

【要約】【課題】非接触で被測定物の厚みを実用的に測定し、被測定物の損傷や汚染等を防止する。【解決手段】テラヘルツ光発生器7から発したテラヘルツパルス光は、被測定物20を照射する。被測定物20を透過したテラヘルツパルス光は、テラヘルツ光検出器11で検出される。可動鏡10をずらしながら検出器11にゲートをかけることで、被測定物20の透過光の電場強度の時系列波形が計測される。計測時系列波形に基づいて、被測定物20の厚みが算出される。

請求項（抜粋）：

被測定物の厚みを測定する厚み測定方法であって、テラヘルツパルス光の発生部と該発生部から発生して所定の光路を経て到達するテラヘルツパルス光を検出する検出部とを用いて、前記光路上に前記被測定物を配置した状態で、前記テラヘルツパルス光を前記被測定物に照射することにより前記被測定物を透過して前記検出部により検出されるパルス光の、電場強度の時系列波形である計測時系列波形を取得する段階と、前記計測時系列波形に基づいて、前記被測定物の厚みを求める段階とを備えたことを特徴とする厚み測定方法。

IPC (2件)：

G01B 11/06 , H01L 21/66

FI (2件)：

G01B 11/06 Z , H01L 21/66 P

Fターム (21件)：

2F065AA30 , 2F065BB03 , 2F065CC19 , 2F065DD13 , 2F065DD16 , 2F065FF32 , 2F065GG04 , 2F065LL13 , 2F065LL19 , 2F065LL30 , 2F065LL46 , 2F065QQ04 , 2F065QQ16 , 2F065QQ33 , 2F065UU01 , 2F065UU05 , 4M106AA01 , 4M106BA05 , 4M106CA48 , 4M106DH12 , 4M106DJ11

引用特許：

審査官引用 (7件)

媒体の解析処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-304910 出願人：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド
特開昭54-002153
特開昭54-002153

全件表示

前のページに戻る