特許
J-GLOBAL ID：200903036165887670

アモルファス酸化物及び電界効果型トランジスタ

発明者：
板垣 奈穂

板垣 奈穂 について

, 
ゴヤル アミタ

ゴヤル アミタ について

, 
岩崎 達哉

岩崎 達哉 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (15件)： 岡部 正夫 ,  加藤 伸晃 ,  岡部 讓 ,  臼井 伸一 ,  藤野 育男 ,  越智 隆夫 ,  本宮 照久 ,  高梨 憲通 ,  朝日 伸光 ,  高橋 誠一郎 ,  吉澤 弘司 ,  松井 孝夫 ,  小林 恒夫 ,  齋藤 正巳 ,  三山 勝巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-001336
公開番号（公開出願番号）：特開2009-164393
出願日： 2008年01月08日
公開日（公表日）： 2009年07月23日
要約：
【課題】電界効果移動度やS値などのトランジスタ特性に優れ、かつ対環境安定性に優れたアモルファス酸化物及び電界効果トランジスタを提供する。【解決手段】アモルファス酸化物であって、In、Zn及びSnのうち少なくとも一つの元素と、Moと、を少なくとも含み、前記アモルファス酸化物中の全金属原子数に対するMoの原子組成比率が0.1原子%以上5原子%以下であることを特徴とするアモルファス酸化物。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
アモルファス酸化物であって、 In、Zn及びSnのうち少なくとも一つの元素と、Moと、を少なくとも含み、前記アモルファス酸化物中の全金属原子数に対するMoの原子組成比率が0.1原子%以上5原子%以下であることを特徴とするアモルファス酸化物。
IPC (1件)：
H01L 29/786
FI (1件)：
H01L29/78 618B
Fターム (36件)：
5F110AA01 ,  5F110AA06 ,  5F110AA14 ,  5F110BB01 ,  5F110CC01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110DD05 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE07 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF28 ,  5F110GG01 ,  5F110GG15 ,  5F110GG28 ,  5F110GG29 ,  5F110GG33 ,  5F110GG42 ,  5F110GG43 ,  5F110GG58 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK07 ,  5F110HK21 ,  5F110HK33 ,  5F110NN71 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110QQ14
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (1件)
引用文献：
審査官引用 (1件)

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