特許
J-GLOBAL ID：200903036207234958
高密度焼結体用酸化錫粉末
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-058978
公開番号（公開出願番号）：特開平10-251019
出願日： 1997年03月13日
公開日（公表日）： 1998年09月22日
要約：
【要約】【課題】ITO膜の製造に用いるターゲット材原料として最適な高密度焼結体用酸化錫粉末を提供する。【解決手段】本発明は、一次粒子のBET比表面積2〜10m2/g、望ましくは3〜8m2/g、結晶子径800オングストローム以上であって、二次粒子の粒子径5〜30μmの範囲のものが、全体の50重量%以上含有されている高密度焼結体用酸化錫粉末からなる。
請求項（抜粋）：
一次粒子のBET比表面積2〜10m2/g、結晶子径800オングストローム以上であって、二次粒子の粒子径5〜30μmの範囲のものが、全体の50重量%以上含有されていることを特徴とする高密度焼結体用酸化錫粉末。
IPC (3件)：
C01G 19/02
, C01G 19/00
, C23C 14/34
C01G 19/02 B
, C01G 19/00 A
, C23C 14/34 A
