特許
J-GLOBAL ID：200903036372396814
触覚センサ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
鎌田 耕一
, 黒田 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-199731
公開番号（公開出願番号）：特開2008-026178
出願日： 2006年07月21日
公開日（公表日）： 2008年02月07日
要約：
【課題】新規な構造を有する多数の触覚センサを備えることが可能な触覚センサ装置を提供する。【解決手段】複数の触覚センサユニットを含み、触覚センサユニットは、触覚センサ100と、触覚センサ100からの出力を処理するプロセッサ要素とを含む。プロセッサ要素は、触覚センサから得たデータを伝達できるように、隣接する触覚センサユニットのプロセッサ要素に接続されている。触覚センサ100は、基板101と基板101の上に配置された被膜104とを含み、被膜104に加えられた力を検出する。触覚センサ100は、基板101側から順に配置されたSiGe層122およびSi層123を含む積層部102と、SiGe層122およびSi層123をSi層123側に曲げることによって形成された起立部103と、起立部103の変形を検出するための検出手段とをさらに含む。被膜104に力が加えられることによって起立部103が変形する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数の触覚センサユニットを含む触覚センサ装置であって、
前記触覚センサユニットは、少なくとも1つの触覚センサと、前記少なくとも1つの触覚センサからの出力を処理するプロセッサ要素とを含み、
前記触覚センサユニットの前記プロセッサ要素は、前記触覚センサから得たデータを伝達することができるように、隣接する前記触覚センサユニットの前記プロセッサ要素に接続されており、
前記触覚センサは、基板と前記基板の上に配置された被膜とを含み、前記被膜に加えられた力を検出するセンサであり、
前記触覚センサは、前記基板の上に前記基板側から順に配置された第1および第2の層を含む積層部と、前記第1および第2の層を前記第2の層側に曲げることによって形成された起立部と、前記起立部の変形を検出するための検出手段とをさらに含み、
前記積層部および前記起立部は、それぞれ、互いに格子定数が異なる複数の層を含み、
前記第1および第2の層は、前記複数の層における格子定数の差によって生じた力によって曲げられており、
前記起立部と前記被膜とが接触しており、
前記被膜に力が加えられることによって前記起立部が変形する、触覚センサ装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
2F051AA10
, 2F051AB06
, 2F051AB10
, 2F051BA07
, 2F051DA02
出願人引用 (1件)
-
触覚センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-055205
出願人：日本電信電話株式会社
審査官引用 (6件)
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引用文献：
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