特許
J-GLOBAL ID：200903036394178969
作動波形の選択により微小機械格子装置におけるリボン素子を減衰させる方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-374103
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174720
出願日： 2000年12月08日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 回折光量がリボン素子の共鳴によって生じる望まれない一時的な変動を一切含まないように電気機械格子装置のリボン素子を作動させ、よって装置がより高い周波数で作動できるようにより理想的な出力を生成する方法を提供すること。【解決手段】 底表面を定め、この底表面の下に形成された底導電層を有するチャネル上の電気機械リボン素子を減衰する方法であって、少なくとも一つのリボン素子に少なくとも一つの定振幅電圧パルスを提供する工程と、前記定振幅電圧パルスから狭い一時的なギャップによって分けられた制動パルスを少なくとも一つ前記リボン素子に提供する工程とを有する方法。更に、この方法は、チャネルの底と接触しないように作動されるリボン素子に対して高度な減衰を提供することも可能である。
請求項（抜粋）：
共鳴期間を有し、底表面を画成し、この底表面の下に形成された底導電層を有するチャネル上に浮遊される電気機械リボン素子を減衰する方法であって、少なくとも一つのリボン素子に少なくとも一つの定振幅電圧パルスを与える工程と、前記定振幅電圧パルスから狭い時間的なギャップによって分けられた少なくとも一つの制動パルスを前記リボン素子に与える工程とを有することを特徴とする方法。
引用特許：
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