特許
J-GLOBAL ID：200903036397067823
ペースト塗布機及びペースト塗布方法
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 武和国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-200174
公開番号（公開出願番号）：特開2008-023471
出願日： 2006年07月24日
公開日（公表日）： 2008年02月07日
要約：
【課題】リブなどで凸凹をなす基板に対しても、基板のうねりを精度良く計測し、ペーストパターンを高精度に形成することができて、生産性を高める。【解決手段】基板Kには、図3に示すような、ストライプ状のRaや井桁状のリブRbが設けられ、凸凹状をなしている。かかる基板KのリブRa間にペーストを塗布するノズルには、距離センサ(例えば、非接触式三角測式センサ)19が設けられている。ペーストパターン形成のためのペースト塗布に先立ち、この距離センサ19によって基板Kのうねりを計測するのであるが、これらリブRaに対して微小角傾き、かつペースト塗布経路(この場合、リブRa間)近傍の経路に沿って距離センサ19,基板K間の距離を測定していく。そして、その測定結果の距離データを処理してリブRaの頂点を結ぶ面を求め、これによって基板Kのうねりを検出し、基板の表示領域一面を網羅する大きさのノズル18にて塗布を実施する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
複数の吐出口を有するノズルを備えたシリンジと、前記吐出口に対向するように基板を載置する基板保持テーブルと、前記シリンジに充填したペーストを前記吐出口から基板上に吐出させながら、前記基板と前記ノズルとの相対位置関係を変化させることにより、前記基板上に所望形状のペーストパターンを塗布描画するペースト塗布機において、
前記シリンジ内のペースト量を検出する検出器と、前記検出器の検出結果に基づいてシリンジ内にペーストを供給する機構を備え、前記シリンジの取り付け位置を調整するノズルシリンジ校正機構を設けたことを特徴とするペースト塗布機。
IPC (5件)：
B05C 5/00
, B05C 11/10
, B05D 1/26
, H01J 9/227
, H01J 11/02
B05C5/00 101
, B05C11/10
, B05D1/26 Z
, H01J9/227 E
, H01J11/02 B
4D075AC08
, 4D075AC09
, 4D075AC84
, 4D075AC88
, 4D075AC93
, 4D075CB09
, 4D075DA06
, 4D075DB13
, 4D075DC19
, 4D075DC21
, 4D075DC24
, 4D075EA14
, 4D075EC11
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041BA04
, 4F041BA13
, 4F041BA17
, 4F041BA21
, 4F041BA34
, 4F041BA60
, 4F042AA06
, 4F042BA08
, 4F042BA09
, 4F042CB07
, 4F042CB13
, 4F042CC08
, 4F042DH09
, 5C028FF01
, 5C028FF06
, 5C040GG09
, 5C040JA13
出願人引用 (12件)
全件表示
審査官引用 (7件)
全件表示
前のページに戻る
