特許
J-GLOBAL ID：200903036477495630

光電変換装置

発明者：
小池 稔子

小池 稔子 について

, 
望月 千織

望月 千織 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-281244
公開番号（公開出願番号）：特開2000-114534
出願日： 1998年10月02日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：
【要約】【課題】 感度低下を起こさずに容易に駆動速度を向上させることができ動画速度の向上が可能な光電変換装置を提供する。【解決手段】 光電変換素子11とスイッチ薄膜トランジスタ12とを含んでなる画素が複数配列されている光電変換装置において、スイッチ薄膜トランジスタ12のゲート電極1021は第1の導電層により形成されており、ゲート電極1021に接続されたゲート配線1022は第1の導電層とは異なる第2の導電層により形成されている。ゲート電極1021とゲート配線1022とは、これらの間に介在する層間絶縁膜1031,1032に形成されたコンタクトホールにおいて互いに接続されている。ゲート電極1021を薄くし且つゲート配線1022を厚くすることができる。第1の導電層と第2の導電層とは互いに異なる材料を用いて形成することができる。
請求項（抜粋）：
光電変換素子とスイッチ薄膜トランジスタとを含んでなる画素が複数配列されている光電変換装置において、前記スイッチ薄膜トランジスタのゲート電極は第1の導電層により形成されており、前記ゲート電極に接続されたゲート配線は前記第1の導電層とは異なる第2の導電層により形成されていることを特徴とする光電変換装置。
FI (2件)：
H01L 29/78 617 J ,  H01L 29/78 613 Z
引用特許：
審査官引用 (5件)
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