特許
J-GLOBAL ID:200903036488588575
光導波路及び光送受信モジュール並びに光導波路製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
堀 城之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-311198
公開番号(公開出願番号):特開2001-133642
出願日: 1999年11月01日
公開日(公表日): 2001年05月18日
要約:
【要約】【課題】 光導波路の基板製造工程においてシリコン基板と導波路コアの間に遮光層を設けることにより、受光素子への信号光の迷光を遮光する光導波路及び光送受信モジュール並びに光導波路製造方法に関する技術を提供する点にある。【解決手段】 図1に示すように、本実施の形態に係る光導波路100は、Si基板(半導体基板、シリコン基板)101と遮光層102とクラッド層(タングステン-シリコン層)103と導波路コア104と波長選択フィルタ105とで概略構成される。
請求項(抜粋):
光アクセス系システムにおける発光素子からの信号光を受光素子に導く光導波路であって、プラットフォーム基板としての半導体基板と、信号光の導波路コアを有するクラッド層と、該クラッド層と前記半導体基板との間に配置された遮光層とを備え、該遮光層は、前記半導体基板を介して前記発光素子から前記受光素子に入射する前記信号光の迷光を遮光することを特徴とする光導波路。
Fターム (9件):
2H047KA04
, 2H047KB10
, 2H047LA18
, 2H047MA05
, 2H047QA02
, 2H047QA04
, 2H047QA07
, 2H047RA08
, 2H047TA23
引用特許: