特許

J-GLOBAL ID：200903036595903750

光変調素子及びその製造方法

発明者： 佐藤 正博
出願人/特許権者： NECトーキン株式会社
代理人 (1件)： 山崎 拓哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-120854
公開番号（公開出願番号）：特開2004-341507
出願日： 2004年04月15日
公開日（公表日）： 2004年12月02日
要約：

【課題】良好なシート抵抗値を有する層を意図しない滞留電荷抑制のための層として備える光変調素子及びその製造方法を提供すること。【解決手段】本発明による光変調素子300は、一対の光路322,323を有する光導波路320が形成された基板310を備えている。基板310及び光導波路320上には、透明バッファ層330が光導波路320を覆うようにして形成され、バッファ層330上には、第一及び第二の変調電極341,342が形成されている。第一及び第二の変調電極341,342は、光変調素子300の周囲の電界に応じて一対の光路322,323内に屈折率変化を生じさせるようにして配置されている。本発明によるバッファ層330は、少なくとも一つの透明絶縁体膜と少なくとも一つの透明導電体膜とを備える積層膜を用いて作成された相互拡散層であり、透明絶縁体膜と透明導電体膜との間には明瞭な境界を有しないものである。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

電気光学効果を有する材料からなる基板と、該基板に形成された光導波路であって少なくとも一対の光路を有する光導波路と、基板及び光導波路上に形成された透明なバッファ層と、バッファ層上に形成された変調電極とを備えた光変調素子であって、前記変調電極は当該光変調素子を取り巻く電界に応じて前記一対の光路における屈折率変化を生じさせるように配置されている光変調素子において、前記バッファ層は、少なくとも一つの透明絶縁体膜と少なくとも一つの透明導電体膜とを備える積層膜を用いて作成された相互拡散層であることを特徴とする光変調素子。

IPC (2件)：

G02F1/035 ,  G01R15/24

FI (2件)：

G02F1/035 ,  G01R15/07 C

Fターム (12件)：

2G025AA12 ,  2G025AB11 ,  2G025AC06 ,  2H079AA02 ,  2H079AA12 ,  2H079BA01 ,  2H079CA12 ,  2H079DA03 ,  2H079EA05 ,  2H079EA08 ,  2H079EB05 ,  2H079KA11

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 電界センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-149623   出願人：株式会社トーキン
• 導波路型光デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-003167   出願人：株式会社トーキン

審査官引用 (4件)

• 光導波路機能素子及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-347624   出願人：住友金属鉱山株式会社
• 光導波路デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-347156   出願人：富士通株式会社
• 特開昭62-073207
  
• 光制御デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-103308   出願人：日本電気株式会社