特許
J-GLOBAL ID：200903036915316158

面取り大型基板及びその製造方法

発明者：
草開 大介

草開 大介 について

, 
柴野 由紀夫

柴野 由紀夫 について

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上田 修平

上田 修平 について

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渡部 厚

渡部 厚 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (4件)： 小島 隆司 ,  重松 沙織 ,  小林 克成 ,  石川 武史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-240699
公開番号（公開出願番号）：特開2007-057638
出願日： 2005年08月23日
公開日（公表日）： 2007年03月08日
要約：
【解決手段】 対角長が500mm以上の大型基板であって、基板上下面の面取り(C面取り)幅に対する寸法精度がそれぞれ±0.05mm以下であることを特徴とする通常面取り加工部を有する大型基板。【効果】 本発明によれば、大型基板の端面部(面取り)、特にC面取り寸法の精度が向上し、大型基板自身の歩留まりを向上できる。また、異形面取り(大面取り)の場合も同様に、面取り部の寸法精度向上により、露光装置に組み込み易くなり、露光装置セット時のトラブルを抑制することができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
対角長が500mm以上の大型基板であって、基板表裏面の面取り(C面取り)幅に対する寸法精度がそれぞれ±0.05mm以下であることを特徴とする通常面取り加工部を有する大型基板。
IPC (5件)：
G03F 1/08 ,  C03B 33/037 ,  C03B 20/00 ,  G02F 1/133 ,  G02F 1/13
FI (5件)：
G03F1/08 Z ,  C03B33/037 ,  C03B20/00 K ,  G02F1/1333 500 ,  G02F1/13 101
Fターム (17件)：
2H088FA19 ,  2H088HA01 ,  2H088HA08 ,  2H088HA12 ,  2H088KA01 ,  2H088MA20 ,  2H090JA11 ,  2H090JA13 ,  2H090JB02 ,  2H090JC01 ,  2H090JD14 ,  2H090LA04 ,  2H095BC28 ,  4G014AH00 ,  4G015FA01 ,  4G015FB01 ,  4G015FC10
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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