特許

J-GLOBAL ID：200903036934620321

液体気化器、液体気化供給システム及び液体気化制御方法

発明者： 舟窪 浩 ,  尾関 朝彦
出願人/特許権者： 科学技術振興事業団
代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-361093
公開番号（公開出願番号）：特開2003-160869
出願日： 2001年11月27日
公開日（公表日）： 2003年06月06日
要約：

【要約】【課題】 溶液気化法における気化器内の気化状態をその場観察して、その評価に基づいて気化器内の気化条件を制御し安定な原料ガスの供給を実現すること。【解決手段】 気化室と、気化室への液体原料導入口と、該気化室内において液体原料の気化を促進する手段と、該気化室からの気体排出口とを有する液体原料を気化する気化器において、該気化室内の圧力を測定する圧力計を少なくとも1個有する液体気化器。液体気化器の圧力計に連動して気化器制御系及び/又は液体原料供給系及び/又は気体導出系を制御する液体気化供給システム。

請求項（抜粋）：

気化室と、気化室への液体原料導入口と、該気化室内において液体原料の気化を促進する手段と、該気化室からの気体排出口とを有する液体原料を気化する気化器において、該気化室内の圧力を測定する圧力計を少なくとも1個有することを特徴とする液体気化器。

IPC (3件)：

C23C 16/448 ,  B01J 4/00 102 ,  H01L 21/31

FI (3件)：

C23C 16/448 ,  B01J 4/00 102 ,  H01L 21/31 F

Fターム (21件)：

4G068DA04 ,  4G068DA10 ,  4G068DB03 ,  4G068DB04 ,  4G068DD03 ,  4G068DD11 ,  4G068DD15 ,  4K030AA11 ,  4K030BA01 ,  4K030BA18 ,  4K030BA22 ,  4K030BA42 ,  4K030EA01 ,  4K030JA09 ,  4K030KA39 ,  4K030KA41 ,  5F045AA04 ,  5F045AB01 ,  5F045AC07 ,  5F045DP03 ,  5F045EE02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 液体原料用CVD装置、および液体原料を用いたCVDプロセスと、その液体原料
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-057359   出願人：三菱電機株式会社
• 化学的気相成長装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-053939   出願人：日産自動車株式会社
• 差圧値自動設定機能を備えた粉粒体高圧輸送システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-046298   出願人：アマノ株式会社
• 薄膜形成方法及び薄膜形成装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-192944   出願人：富士通株式会社