表面欠陥検査方法および検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶山佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-087932
公開番号（公開出願番号）：特開平10-325713
出願日： 1998年03月17日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】サイズ分類精度を向上させることができ、かつ、検査結果データのばらつきを抑制できる表面欠陥検査方法および検査装置を提供する。【解決手段】3個以上の疑似欠陥fgからなる疑似欠陥列がこの較正用ディスク1aの円周方向に所定の角度おきにn個設けられ、それぞれの疑似欠陥列の疑似欠陥が、等しいサイズとして形成され、かつ隣接する疑似欠陥fgがレーザスポットSpの幅より大きな所定の間隔をおいて配列され、かつ円周方向に沿って段階的に増加あるいは減少している感度較正用ディスクを備え、この感度較正用ディスクの欠陥検査をして、これの検査結果に応じて検出感度を調整し、検出感度を調整した状態における検査結果から検出信号のレベルと疑似欠陥のサイズとを関係付けるデータをサイズ判定の基準データとして生成し、この判定基準データに基づいて検査対象ディスクを欠陥検査したときの検出信号のレベルから欠陥のサイズを得る。

請求項（抜粋）：

レーザスポットをディスクに対して相対的に移動させて前記ディスクの表面を走査し、前記レーザスポットの散乱光を受光器により受光し、この受光器の出力信号を増幅して検出信号を得てこの検出信号のレベルに応じて検出された欠陥のサイズあるいは前記検出信号のレベルに応じて大小分類されたサイズを前記ディスク上の位置とともに出力する表面欠陥検査装置において、前記欠陥に対する検出感度を較正するためのディスクであって、このディスクの半径方向および円周方向のいずれかの方向に沿って形成された3個以上の疑似欠陥からなる疑似欠陥列がこの較正用ディスクの前記円周方向に所定の角度おきにn個(ただしnは2以上の整数)設けられ、それぞれの前記疑似欠陥列の前記疑似欠陥は、実質的に等しいサイズの凸部および凹部のいずれかとして形成され、かつ、隣接する前記疑似欠陥が前記レーザスポットの幅より大きな所定の間隔をおいて配列され、かつ前記円周方向に沿って段階的に増加あるいは減少している感度較正用ディスクを備え、この感度較正用ディスクの欠陥検査をして、これの検査結果に応じて検出感度を調整し、検出感度を調整した状態における前記較正用ディスクの検査結果から前記検出信号のレベルと前記疑似欠陥のサイズとを関係付けるデータをサイズ判定の基準データとして生成し、この判定基準データに基づいて検査対象のディスクを欠陥検査したときの前記検出信号のレベルから欠陥のサイズを得る表面欠陥検査方法。

IPC (2件)：

G01B 11/30 , G01N 21/88

FI (2件)：

G01B 11/30 D , G01N 21/88 G

引用特許：

審査官引用 (11件)

異物検出感度校正標準ウエハ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-266910 出願人：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社
基板外観検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-230488 出願人：花王株式会社
異物等の欠陥検査方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-176396 出願人：株式会社日立製作所

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