特許
J-GLOBAL ID：200903037319129282
プラズマ処理装置およびその部品と部品の寿命検出方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
萩原 康司
, 金本 哲男
, 亀谷 美明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-040870
公開番号（公開出願番号）：特開2006-228966
出願日： 2005年02月17日
公開日（公表日）： 2006年08月31日
要約：
【課題】 プラズマ処理装置において,識別標識を起点とする割れが発生しにくい部品を提供し,あわせて,この識別標識を利用して部品の寿命を検出できる方法を提供することを目的とする。【解決手段】 基板Wを収納した処理容器10内にてプラズマを生成して,基板Wにプラズマ処理を施すプラズマ処理装置1において,処理容器10内に配置される部品17であって,部品17の表面には,平面視で略円形状を有し,縦断面形状が略U字形状のドット穴22を複数並べることにより示された記号21を1または2以上組合わせてなる識別標識20,21が付されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板を収納した処理容器内にてプラズマを生成して,基板にプラズマ処理を施すプラズマ処理装置において,前記処理容器内に配置される部品であって,
前記部品の表面には,平面視で略円形状を有し,縦断面形状が略U字形状のドット穴を複数並べることにより示された記号を1または2以上組合わせてなる識別標識が付されていることを特徴とする,プラズマ処理装置の部品。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
5F004BA04
, 5F004BB23
, 5F004DA00
, 5F004DA01
, 5F004DA26
出願人引用 (2件)
-
枚葉式の熱処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-210973
出願人：東京エレクトロン株式会社
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プラズマ処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-383175
出願人：株式会社日立製作所
審査官引用 (3件)
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